恭喜南京原磊纳米材料有限公司郑锦获国家专利权
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龙图腾网恭喜南京原磊纳米材料有限公司申请的专利圆弧形卤素加热灯获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115379601B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-22发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210596193.6,技术领域涉及:H05B3/00;该发明授权圆弧形卤素加热灯是由郑锦;姚铖;陶佳月设计研发完成,并于2022-05-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本圆弧形卤素加热灯在说明书摘要公布了:本发明公开了一种圆弧形卤素加热灯,所述加热灯包括有石英玻璃罩、加热钨丝和陶瓷灯帽,所述石英玻璃罩设置有圆弧部和柱体部,所述柱体部设置在圆弧部的两端,且所述柱体部垂直于圆弧部;所述加热钨丝用于对加工工件进行加热,同时所述加热钨丝固定在石英玻璃罩的内部;所述石英玻璃罩用于将加热钨丝与空气进行隔绝;所述陶瓷灯帽通过陶瓷泥与石英玻璃罩的端部进行固定连接。本发明通过一体成型的钨丝引线和圆弧形石英玻璃罩的设置,可以更友好的适配圆形半导体晶圆的加热处理,同时由于多个圆弧形卤素加热灯共同作用时,其可以形成紧凑型的圆环形加热区域,从而其可以更好地利用反应空间,进而可以提高整体加热效果。
本发明授权圆弧形卤素加热灯在权利要求书中公布了:1.一种圆弧形卤素加热灯,所述加热灯包括有石英玻璃罩1、加热钨丝和陶瓷灯帽2,其特征在于:所述石英玻璃罩1设置有圆弧部和柱体部,所述柱体部设置在圆弧部的两端,且所述柱体部垂直于圆弧部;所述加热钨丝用于对加工工件进行加热,同时所述加热钨丝通过圆环形保持架固定在石英玻璃罩1的内部;所述石英玻璃罩1用于将加热钨丝与空气进行隔绝,且所述石英玻璃罩1的内部充满卤素气体;所述陶瓷灯帽2用于固定并保护引脚3,所述陶瓷灯帽2通过陶瓷泥与石英玻璃罩1的端部进行固定连接,所述引脚3设置在陶瓷灯帽2的上端中部;所述陶瓷灯帽2包括有定位卡槽201,所述定位卡槽201的中部为中空结构,所述定位卡槽201的外部上端套设有散热凸起202,所述散热凸起202均匀分布在定位卡槽201的外部上端,用于提高陶瓷灯帽2的散热效率,所述定位卡槽201的外部下端固定有定位台203,所述定位台203与石英玻璃罩1的端部通过陶瓷泥进行固定密封;所述散热凸起202的中部设置有引脚安装孔204,所述引脚安装孔204位于定位卡槽201的上端中部,且所述引脚3的下端与引脚安装孔204之间固定连接;所述散热凸起202的下端和定位台203的上端之间设置有间隙,且所述散热凸起202、所述间隙和所述定位台203顺序布设,所述散热凸起202与所述间隙之间设置有过渡凸起部,呈竖向设置的所述散热凸起202之间设置有第一槽口,相邻竖向设置的所述散热凸起202之间设置有第二槽口,所述过渡凸起部靠近所述第二槽口一端对应设置有第三槽口,所述第一槽口与所述第二槽口相连,所述第二槽口与所述第三槽口相连。
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