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龙图腾网恭喜浙江工业大学申请的专利一种氢气气敏的WO_x/Pd纳米组装材料氢气传感器及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115015331B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210549106.1，技术领域涉及：G01N27/12；该发明授权一种氢气气敏的WO_x/Pd纳米组装材料氢气传感器及其制备方法是由谢波;肖作旗;胡军;夏盛杰;钱浩宇;毛稀兵;孙健;周兴泉;张澳雪设计研发完成，并于2022-05-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种氢气气敏的WO_x/Pd纳米组装材料氢气传感器及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种氢气气敏的WOxPd纳米组装材料氢气传感器及其制备方法，本发明的WOxPd纳米组装材料利用团簇束流沉积技术制备，利用双靶团簇溅射源，在带有绝缘衬底的叉指电极表面先后沉积WOx纳米粒子和Pd纳米粒子，即可得到不同质量比例的WOxPd混合纳米粒子组装材料；进一步，利用该材料实现气体传感器件，将此WOxPd混合纳米粒子组装材料沉积于带有绝缘衬底的叉指电极表面，即可应用于氢气浓度的定量测量。本发明同现有技术相比，本设计涉及的钨氧化物和钯混合纳米粒子组装材料体系具有更大的比表面积，且由于Pd纳米粒子对氢气的催化解离能力，因此也具有相比单一钨氧化物具有更多的反应位点，可在相对较低的温度下实现高灵敏度和快速响应的氢气感知功能。

本发明授权一种氢气气敏的WO_x/Pd纳米组装材料氢气传感器及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种氢气气敏的WOxPd纳米组装材料氢气传感器，其特征在于包括带有绝缘衬底的叉指电极以及在叉指电极表面先后沉积的钨氧化物WOx纳米粒子和Pd纳米粒子，钨氧化物WOx纳米粒子和Pd纳米粒子组合为无序均匀的混合结构，形成WOxPd混合纳米粒子组装材料；所述WOxPd混合纳米粒子组装材料中，Pd纳米粒子的质量占比为0.5%~10%；所述的WOxPd纳米组装材料氢气传感器的制备方法，包括以下步骤：（1）将高纯度WO3和Pd靶材分别放置在团簇束流沉积设备的两个溅射枪上，将叉指电极放置在团簇束流沉积系统的沉积室内，对整个装置采取抽真空；（2）所述两个溅射枪上均通入溅射气，并向团簇束流沉积系统的溅射腔中通入缓冲气；（3）先后分别溅射WO3和Pd靶材，在叉指电极表面沉积WOx和Pd纳米粒子。

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