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恭喜沈阳爱科斯科技有限公司王君获国家专利权

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龙图腾网恭喜沈阳爱科斯科技有限公司申请的专利多弧离子镀膜装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114717522B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-22发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210517313.9,技术领域涉及:C23C14/32;该发明授权多弧离子镀膜装置是由王君;闫超颖;依君;梁惠朋设计研发完成,并于2022-05-12向国家知识产权局提交的专利申请。

多弧离子镀膜装置在说明书摘要公布了:本申请涉及真空镀膜技术领域,尤其是涉及一种多弧离子镀膜装置。该多弧离子镀膜装置包括镀膜模组,镀膜模组包括真空室、镀膜弧源和刻蚀弧源,镀膜弧源和刻蚀弧源均与真空室相连接,真空室的内部用于通入反应气体。该多弧离子镀膜装置采用刻蚀弧源和阳极组件组成的刻蚀组件对工件表面进行刻蚀处理,再通过镀膜弧源对工件进行沉积镀膜,能够提高工件外表面与膜层之间结合力,使得工件表面获得致密、高硬度、高耐磨的高性能功能膜层,以应对各种复杂工况和工艺需求。

本发明授权多弧离子镀膜装置在权利要求书中公布了:1.一种多弧离子镀膜装置,其特征在于,包括:镀膜模组,所述镀膜模组包括真空室、镀膜弧源和刻蚀组件,所述刻蚀组件包括刻蚀弧源、挡板和阳极组件;所述镀膜弧源和所述刻蚀弧源均与所述真空室相连接,所述阳极组件对应所述刻蚀弧源设置于所述真空室的内部,所述挡板设置于所述刻蚀弧源和所述阳极组件之间,所述真空室的内部用于通入反应气体。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人沈阳爱科斯科技有限公司,其通讯地址为:110000 辽宁省沈阳市沈北新区蒲河路83-42号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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