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龙图腾网恭喜卡尔蔡司显微镜有限责任公司申请的专利具有偏转单元的粒子束装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115346850B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210386325.2，技术领域涉及：H01J37/147；该发明授权具有偏转单元的粒子束装置是由D.普赖克斯扎斯;M.W.法纳夫设计研发完成，并于2022-04-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本具有偏转单元的粒子束装置在说明书摘要公布了：本发明涉及一种用于对物体进行成像、分析和或处理的粒子束装置。该粒子束装置包括：第一粒子束发生器，其中该第一粒子束发生器具有第一发生器束轴，其中该粒子束装置的光轴和该第一发生器束轴相同；第二粒子束发生器，其中该第二粒子束发生器具有第二发生器束轴，其中该光轴和该第二发生器束轴成不同于0°和180°的某角度布置；偏转单元，其中该偏转单元具有第一开口和不同于该第一开口的第二开口，其中该光轴延伸穿过该第一开口，其中该第二发生器束轴延伸穿过该第二开口；用于将该第一粒子束或该第二粒子束聚焦到该物体上的物镜，其中该光轴延伸穿过该物镜；以及用于检测相互作用粒子和或相互作用辐射的至少一个检测器。

本发明授权具有偏转单元的粒子束装置在权利要求书中公布了：1.一种用于对物体进行成像、分析和或处理的粒子束装置，包括：光轴；第一粒子束发生器，用于生成具有第一带电粒子的第一粒子束，其中该第一粒子束发生器具有第一发生器束轴，其中该光轴和该第一发生器束轴相同；第二粒子束发生器，用于生成具有第二带电粒子的第二粒子束，其中该第二粒子束发生器具有第二发生器束轴，其中该光轴和该第二发生器束轴成不同于0°和180°的某角度布置；偏转单元，用于将这些第二带电粒子从该第二发生器束轴偏转到该光轴并沿着该光轴，其中该偏转单元具有第一开口和不同于该第一开口的第二开口，其中该光轴延伸穿过该第一开口，其中该第二发生器束轴延伸穿过该第二开口；至少一个物镜，用于将该第一粒子束或该第二粒子束聚焦到该物体上，其中该光轴延伸穿过该物镜；至少一个检测器，用于检测相互作用粒子和或相互作用辐射，这些相互作用粒子和该相互作用辐射是当该第一粒子束或该第二粒子束撞击在该物体上时生成的；以及用于停止该第一粒子束的第一可移动束停止单元，其中该第一可移动束停止单元沿着该第一发生器束轴延伸，并且其中该第一可移动束停止单元被布置在该第一粒子束发生器与该偏转单元之间；其中，该偏转单元可以具有第一操作模式和第二操作模式，其中，在该第一操作模式中，该第一粒子束的第一带电粒子沿着该光轴引导并且不被该偏转单元偏转，以及其中，在该第二操作模式中，该第二粒子束的第二带电粒子被该偏转单元从该第二发生器束轴偏转到该光轴并且被进一步沿着该光轴引导。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人卡尔蔡司显微镜有限责任公司，其通讯地址为：德国耶拿；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。