恭喜瑞声开泰科技(武汉)有限公司;瑞声声学科技(深圳)有限公司马昭获国家专利权
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龙图腾网恭喜瑞声开泰科技(武汉)有限公司;瑞声声学科技(深圳)有限公司申请的专利一种MEMS陀螺获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114719833B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-22发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210163479.5,技术领域涉及:G01C19/5656;该发明授权一种MEMS陀螺是由马昭;占瞻;阚枭;杨珊;严世涛;彭宏韬;李杨;黎家健;陈秋玉设计研发完成,并于2022-02-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种MEMS陀螺在说明书摘要公布了:本发明提供了一种MEMS陀螺,包括锚点单元、弹性连接于锚点单元的传感单元、以及弹性连接于锚点单元和传感单元的驱动单元;锚点单元包括四个分别位于一矩形的四个角部位置的角部锚点结构和四个中心锚点;传感单元包括四个分别弹性连接于各角部锚点结构和对应的中心锚点之间且相互形成让位空间的第一质量块、以及分别位于各让位空间内的四个第二质量块和四个解耦质量块;第一质量块、第二质量块和解耦质量块均在矩形内;驱动单元包括四个分别连接于第二质量块外侧的驱动件。本发明的陀螺能够实现三个轴角速度独立检测,并且能够实现差分检测,且振动力矩平衡,有效免疫加速度冲击与正交误差的影响,提高检测精度。
本发明授权一种MEMS陀螺在权利要求书中公布了:1.一种MEMS陀螺,包括锚点单元、弹性连接于所述锚点单元的传感单元、以及弹性连接于所述锚点单元和所述传感单元的驱动单元,其特征在于,所述MEMS陀螺为矩形状;所述锚点单元包括四个分别位于所述MEMS陀螺的四个角部位置的角部锚点结构和四个位于所述MEMS陀螺内且分别和四个所述角部锚点结构间隔设置的中心锚点;所述传感单元包括四个分别弹性连接于各所述角部锚点结构和对应的中心锚点之间且相互形成让位空间的第一质量块、四个分别位于各所述让位空间内的第二质量块、以及四个分别位于各所述让位空间内且弹性连接于所述第二质量块的解耦质量块;所述第一质量块、所述第二质量块和所述解耦质量块均在所述矩形内,且所述解耦质量块位于所述第二质量块的内侧,相邻的所述解耦质量块弹性连接;所述驱动单元包括四个分别连接于所述第二质量块的外侧的驱动件,所述驱动件的两端弹性连接于相邻的所述角部锚点结构。
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