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龙图腾网恭喜拓荆科技股份有限公司申请的专利一种基片处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114220754B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111528278.2，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权一种基片处理装置是由李慧;叶五毛设计研发完成，并于2021-12-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基片处理装置在说明书摘要公布了：本发明提供了一种基片处理装置，其特征在于，包括：真空锁定舱组，用于容纳基片；所述真空锁定舱组设有一个或若干个基片；工艺舱组，用于对所述基片加工处理；传输舱，位于所述真空锁定舱组和所述工艺舱之间；所述传输舱设有第一传输机构和第二传输机构；所述第一传输机构和所述第二传输机构均用于装载所述真空锁定舱组中的所述基片，并移动所述基片。该基片处理装置用于在其中一个传输机构损坏或定期维护时也能继续传输基片，避免生产中断，有助于提升产能。

本发明授权一种基片处理装置在权利要求书中公布了：1.一种基片处理装置，其特征在于，包括：真空锁定舱组，用于容纳基片；所述真空锁定舱组设有一个或若干个基片；工艺舱组，用于对所述基片加工处理；所述工艺舱组包括第一工艺舱和第二工艺舱；所述第一工艺舱与所述第二工艺舱在垂直于地面的方向上叠加，所述第一工艺舱和第二工艺舱用于分别独立处理基片；传输舱，位于所述真空锁定舱组和所述工艺舱之间；所述传输舱设有第一传输机构和第二传输机构；所述第一传输机构和所述第二传输机构均用于从所述真空锁定舱组中取出所述基片，并移动所述基片，放入所述工艺舱组，和或从所述工艺舱组中取出所述基片，并移动所述基片，放入所述真空锁定舱组；所述传输舱设有隔板，所述隔板用于将所述传输舱分隔为若干个独立的传输层；所述传输层设有至少一个所述第一传输机构或第二传输机构；所述第一传输机构和所述第二传输机构包括滑轨机械；所述滑轨机械包括导轨、滑块和装载部，所述导轨的一端与所述传输舱连接；所述滑块用于驱动所述装载部沿着导轨运动；所述装载部用于装载所述基片；所述导轨的一侧设有弧形轨；所述弧形轨的至少一端与所述导轨对接；所述弧形轨与所述滑块相配合；所述传输舱的一侧转动连接有所述弧形轨，所述弧形轨与所述导轨的宽度相同；所述弧形轨的前端面与所述导轨位于同一平面内；当所述弧形轨向下转动时，所述弧形轨的两端分别能够与两根所述导轨相卡合，通过滑动位于顶侧的所述第一传输机构的滑块可以滑动到所述第二传输机构的导轨上。

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