恭喜佳能特机株式会社佐藤祐希获国家专利权
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龙图腾网恭喜佳能特机株式会社申请的专利膜厚测定装置、成膜装置、膜厚测定方法、电子器件的制造方法及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113851386B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110675688.3，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权膜厚测定装置、成膜装置、膜厚测定方法、电子器件的制造方法及存储介质是由佐藤祐希;小林康信;谷和宪设计研发完成，并于2021-06-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本膜厚测定装置、成膜装置、膜厚测定方法、电子器件的制造方法及存储介质在说明书摘要公布了：本发明涉及膜厚测定装置、成膜装置、膜厚测定方法、电子器件的制造方法以及存储介质。能够抑制从大型基板切出的基板的膜厚的测定精度降低。膜厚测定装置具备：基板支承构件，所述基板支承构件对将大型基板分割而得到的多个基板中的任一个基板进行支承；测定构件，所述测定构件对在支承于基板支承构件的基板上形成的膜的膜厚进行光学测定；以及控制构件，所述控制构件控制测定构件。取得构件取得与支承于基板支承构件的基板在分割前的大型基板中的部位相关的基板信息。控制构件基于取得构件取得的基板信息，决定测定构件的测定条件。
本发明授权膜厚测定装置、成膜装置、膜厚测定方法、电子器件的制造方法及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种膜厚测定装置，所述膜厚测定装置具备：基板支承构件，所述基板支承构件对将大型基板分割而得到的多个基板中的任一个基板进行支承；测定构件，所述测定构件对在支承于所述基板支承构件的所述基板上形成的膜的膜厚进行光学测定；以及控制构件，所述控制构件控制所述测定构件，其特征在于，所述膜厚测定装置具备取得构件，所述取得构件取得与支承于所述基板支承构件的基板在分割前的所述大型基板中的部位相关的基板信息，所述控制构件基于所述取得构件取得的所述基板信息，决定所述测定构件的测定条件。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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