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龙图腾网恭喜江苏卓胜微电子股份有限公司申请的专利一种多阶横模抑制的声表面波换能器及制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113193849B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110498780.7，技术领域涉及：H03H9/64；该发明授权一种多阶横模抑制的声表面波换能器及制造方法是由姚远设计研发完成，并于2021-05-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种多阶横模抑制的声表面波换能器及制造方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种多阶横模抑制的声表面波换能器及制造方法，声表面波换能器包括从下到上依次设置的晶圆基底、叉指金属层和温补层；还包括负载层，负载层采用如下结构之一或组合；结构一：负载层设置于温补层上或温补层中，负载层不与叉指金属层接触，负载层覆盖叉指金属层中的全部或部分指条端头；结构二：负载层在晶圆基底内，负载层位于叉指金属层的指条端头位置对应处，负载层为导电材料；结构三：负载层位于叉指金属层和温补层之间，负载层覆盖叉指金属层中的全部或部分指条端头，负载层采用非金属材料制成。对指条端头区域进行处理阻断横向模，提高电性能指标和品质Q值；结构一负载层通过温补层与叉指金属层隔离，不与叉指金属层相连短路。

本发明授权一种多阶横模抑制的声表面波换能器及制造方法在权利要求书中公布了：1.一种多阶横模抑制的声表面波换能器，其特征在于，包括从下到上依次设置的晶圆基底、叉指金属层和温补层；还包括负载层，所述负载层采用结构二，或者结构二与其它两种结构的任意组合；结构一：所述负载层设置于所述温补层上或温补层中，所述负载层不与所述叉指金属层接触，所述负载层覆盖所述叉指金属层中的全部或部分指条端头，所述负载层为设置在所述温补层上或所述温补层中的导电层或不导电层；或者所述负载层为设置在温补层中的空洞层；结构二：所述负载层在所述晶圆基底内，所述负载层位于叉指金属层的指条端头位置对应处，在所述晶圆基底上与所述叉指金属层的指条端头位置对应处开设有孔洞，在所述孔洞中填充有导电材料或非导电材料，当所述孔洞中填充有导电材料时，每个指条端头位置对应处的孔洞不与所述指条端头相邻的指条端头接触，温补层具有正温度系数；结构三：所述负载层位于叉指金属层和温补层之间，所述负载层紧贴覆盖所述叉指金属层中的全部或部分指条端头，负载层采用非金属材料。

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