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龙图腾网恭喜上海微电子装备(集团)股份有限公司申请的专利柔性解耦结构、补偿组件及控制方法、运动模块及光刻机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114690575B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011615570.3，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权柔性解耦结构、补偿组件及控制方法、运动模块及光刻机是由赵康梅;方洁;李志龙;陈建明;丛国栋;奚敏杰设计研发完成，并于2020-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本柔性解耦结构、补偿组件及控制方法、运动模块及光刻机在说明书摘要公布了：本发明公开了柔性解耦结构、补偿组件及控制方法、运动模块及光刻机，属于光刻设备领域。该柔性解耦结构包括；至少两个分段式弹性件，其刚度能够调整，其包括依次连接的第一簧片、连接板和第二簧片，分段式弹性件被配置为能对运动组件进行解耦或行程补偿；平行设置的第一连接端和第二连接端，分段式弹性件连接于第一连接端和第二连接端之间，第一连接端和第二连接端中的一个运动、另一个固定；柔性解耦结构能够进行X、Y、Rx、Ry和Rz向解耦。该柔性解耦结构能够实现目标刚度的同时具备良好的塑韧性，减少解耦的滞后时间，可以实现五自由度解耦，补偿机械制造和伺服偏差造成的行程偏差，提高光刻机的运动可靠性，延长光刻机的使用寿命。

本发明授权柔性解耦结构、补偿组件及控制方法、运动模块及光刻机在权利要求书中公布了：1.一种柔性解耦结构，其特征在于，包括：至少两个分段式弹性件11，所述分段式弹性件11的刚度能够调整，所述分段式弹性件11包括依次连接的第一簧片、连接板和第二簧片；平行设置的第一连接端12和第二连接端13，所述分段式弹性件11连接于所述第一连接端12和第二连接端13之间，所述第一连接端12和所述第二连接端13中的一个运动、另一个固定；所述柔性解耦结构能够进行X、Y、Rx、Ry和Rz向解耦；机械限位结构20，连接于所述第一连接端12和所述第二连接端13之间，所述机械限位结构20用于限制运动组件40的行程超差；所述机械限位结构20包括：运动部和固定部，所述运动部连接于所述第一连接端12和所述第二连接端13中运动的一端，所述固定部连接于所述第一连接端12和所述第二连接端13中固定的一端，所述运动部与所述固定部相对间隔设置，所述运动部与所述固定部之间具有沿第一方向预设的第一间隙及沿第二方向预设的第二间隙，所述第一方向垂直于所述第二方向。

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