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恭喜苏州华太电子技术股份有限公司莫海锋获国家专利权

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龙图腾网恭喜苏州华太电子技术股份有限公司申请的专利高速DreaMOS器件及其制作方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114582961B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-22发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202011375199.8,技术领域涉及:H10D62/17;该发明授权高速DreaMOS器件及其制作方法是由莫海锋;彭虎;岳丹诚设计研发完成,并于2020-11-30向国家知识产权局提交的专利申请。

高速DreaMOS器件及其制作方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种高速DreaMOS器件及其制作方法。所述高速DreaMOS器件包括半导体结构层和与半导体结构层配合的栅氧化层、栅极,所述半导体结构层包括外延层和形成在所述外延层内的阱区、阱区接触区、漏区延伸区及漏区,所述外延层内还形成有多个源区和多个沟道掺杂区,其中,所述多个沟道掺杂区分别形成在所述外延层的不同深度区域,其中至少两个源区具有不同的结深。本发明实施例提供的高速DreaMOS器件,减少了阱区的高温退火过程,简化了器件制作工艺,提高了器件一致性。

本发明授权高速DreaMOS器件及其制作方法在权利要求书中公布了:1.一种高速DreaMOS器件,包括半导体结构层和与半导体结构层配合的栅氧化层、栅极,所述半导体结构层包括外延层和形成在所述外延层内的阱区、阱区接触区、漏区延伸区及漏区,其特征在于:所述外延层内还形成有多个源区和多个沟道掺杂区,所述多个沟道掺杂区沿所述外延层的深度方向依次叠层设置,且所述多个沟道掺杂区沿自身长度方向错开,其中,所述多个沟道掺杂区分别形成在所述外延层的不同深度区域,其中至少两个源区具有不同的结深,所述多个沟道掺杂区、源区、漏区以及漏区延伸区的导电类型相同。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人苏州华太电子技术股份有限公司,其通讯地址为:215000 江苏省苏州市工业园区星湖街328号创意产业园10-1F;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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