恭喜ASML荷兰有限公司王義向获国家专利权
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龙图腾网恭喜ASML荷兰有限公司申请的专利用于晶片接地的方法、设备和系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114287051B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080060552.5，技术领域涉及：H01J37/20；该发明授权用于晶片接地的方法、设备和系统是由王義向;刘士兵;曹善会;邱康生;窦菊英;罗映;李瀛龙;李强;R·范德威尔克;J-G·C·范德托恩设计研发完成，并于2020-08-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于晶片接地的方法、设备和系统在说明书摘要公布了：公开了用于晶片接地和晶片接地位置调节的系统和方法。第一方法可以包括：接收与通过电信号接地的晶片相关联的电特性的第一值；使用至少第一值确定第一控制参数；以及使用第一控制参数和第一值控制电信号的特性。用于调节晶片的接地位置的第二方法可以包括：终止晶片与接触晶片的至少一个接地引脚之间的电连接；调节晶片与接地引脚之间的相对位置；以及恢复接地引脚与晶片之间的电连接。第三方法可以包括：引起接地引脚通过撞击穿透晶片上的涂层；以及在接地引脚与晶片之间建立电连接。
本发明授权用于晶片接地的方法、设备和系统在权利要求书中公布了：1.一种用于晶片接地的系统，包括：接地引脚；以及控制器，具有用于以下操作的电路装置：控制所述接地引脚通过撞击穿透晶片上的涂层；在所述接地引脚与所述晶片之间建立电连接；以及致动器，耦合到支撑所述晶片的晶片台，其中所述致动器被配置为致动所述接地引脚其中具有用于控制所述接地引脚通过撞击穿透所述晶片上的所述涂层的电路装置的所述控制器包括：用于朝向所述晶片致动所述接地引脚的电路装置，以及其中具有用于朝向所述晶片致动所述接地引脚的电路装置的所述控制器包括用于以下操作的电路装置：将所述接地引脚从所述晶片移开一距离；以及朝向所述晶片加速所述接地引脚。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人ASML荷兰有限公司，其通讯地址为：荷兰维德霍温；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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