恭喜中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司金吉松获国家专利权
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龙图腾网恭喜中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司申请的专利半导体结构及半导体结构的形成方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114068482B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-22发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202010767709.X,技术领域涉及:H01L23/528;该发明授权半导体结构及半导体结构的形成方法是由金吉松设计研发完成,并于2020-08-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体结构及半导体结构的形成方法在说明书摘要公布了:一种半导体结构及半导体结构的形成方法,结构包括:衬底,所述衬底包括相对的第一面和第二面,所述衬底包括第二区和第一区;位于衬底第一面上的第一隔离层;位于衬底第一区内的第一连接层,第一连接层从衬底第一面向第二面延伸,且部分第一连接层位于所述第一隔离层内;位于第一连接层与衬底之间的第一绝缘层;位于衬底第一区内的第一开口,第一开口从衬底第二面向衬底第一面延伸,第一开口暴露出所述第一连接层朝向衬底第二面的底部表面和部分第一绝缘层表面;位于第一开口侧壁表面和底部表面的第二绝缘层,所述第二绝缘层暴露出所述第一连接层表面;位于第二绝缘层上和第一连接层上的第二连接层。所述半导体结构的性能得到了提升。
本发明授权半导体结构及半导体结构的形成方法在权利要求书中公布了:1.一种半导体结构,其特征在于,包括:衬底,所述衬底包括相对的第一面和第二面,所述衬底包括第一区和第二区;位于衬底第一面上的第一隔离层;位于衬底第一区内的第一连接层,所述第一连接层从衬底第一面向第二面延伸,且部分所述第一连接层位于所述第一隔离层内;位于第一连接层与衬底之间的第一绝缘层;位于衬底第一区内的第一开口,所述第一开口从衬底第二面向衬底第一面延伸,所述第一开口暴露出所述第一连接层朝向衬底第二面的底部表面和部分侧壁表面的第一绝缘层表面;位于所述第一开口侧壁表面和底部表面的第二绝缘层,所述第二绝缘层暴露出所述第一连接层朝向衬底第二面的表面;位于第二绝缘层上和第一连接层上的第二连接层,所述第二连接层与所述第一连接层电连接。
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