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龙图腾网恭喜卡尔蔡司SMT有限责任公司申请的专利支撑光学元件获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113811820B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080034662.4，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权支撑光学元件是由C.科尔纳;C.米勒;E.安塞尔姆设计研发完成，并于2020-05-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本支撑光学元件在说明书摘要公布了：本发明关于一种特别用于使用极紫外线EUV范围中的光的微光刻成像装置的布置，其包含固持装置110，用于固持固持光学元件109，其中该光学元件109包含光学表面109.1并限定主延伸平面，其中该光学元件109限定径向方向和圆周方向。固持装置110包含基座单元110.1和三个以上分开的固持单元110.2，其中该基座单元110.1包含多个支撑界面单元110.3，其在该圆周方向上彼此间隔开，用于将固持装置110连接到支撑结构102.1。固持单元110.2连接到基座单元110.1，并以沿着圆周方向分布且彼此间隔开的方式配置。固持单元110.2构成相对于基座单元110.1固持光学元件109。基座单元包含至少一个支撑薄膜元件110.4，其中该至少一个支撑薄膜元件110.4主要沿着圆周方向且沿着径向方向延伸，其中该至少一个支撑薄膜元件110.4具有横向于该圆周方向和径向方向的厚度尺寸。固持单元110.2配置在面向光学元件109的至少一个支撑薄膜元件110.4的前侧上。

本发明授权支撑光学元件在权利要求书中公布了：1.一种微光刻成像装置的布置，包含：固持装置110；210，用于固持光学元件109；其中该光学元件109包含光学表面109.1并限定主延伸平面，其中该光学元件109限定径向方向和圆周方向；该固持装置110；210包含基座单元110.1；210.1和多个分开的固持单元110.2；210.2；用于将该固持装置110；210连接到支撑结构102.1的该基座单元110.1；210.1包含多个支撑界面单元110.3，所述支撑界面单元在该圆周方向上彼此间隔开；该固持单元110.2；210.2连接到该基座单元110.1；210.1，并以沿着该圆周方向分布且彼此间隔开的方式分布；以及该固持单元110.2；210.2构造为相对于该基座单元110.1；210.1固持该光学元件109；其特征在于该基座单元包含至少一个支撑薄膜元件110.4；210.4，其中该至少一个支撑薄膜元件110.4；210.4主要沿着该圆周方向且沿着该径向方向延伸，其中该至少一个支撑薄膜元件110.4；210.4具有横向于该圆周方向和径向方向的厚度尺寸；以及该固持单元110.2；210.2配置在面向该光学元件109的该至少一个支撑薄膜元件110.4；210.4的前侧上。

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