恭喜朗姆研究公司乔尔·菲利普·霍林斯沃思获国家专利权
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龙图腾网恭喜朗姆研究公司申请的专利层状陶瓷结构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113574653B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080021055.4，技术领域涉及：H01L21/687；该发明授权层状陶瓷结构是由乔尔·菲利普·霍林斯沃思;卡尔·弗雷德里克·利瑟;兰基山·拉奥·林加姆帕利设计研发完成，并于2020-03-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本层状陶瓷结构在说明书摘要公布了：在一些示例中，一种衬底支撑组件包括：单块式陶瓷主体；加热器元件，其设置在所述单块式陶瓷主体内；以及RF天线，其设置在所述单块式陶瓷主体内。一或多条功率线对所述加热器元件和所述RF天线进行供给。层状结构形成或包括在所述单块式陶瓷主体内，所述层状结构包括至少一层，所述至少一层的热导率不同于所述单块式陶瓷主体的热导率。
本发明授权层状陶瓷结构在权利要求书中公布了：1.一种衬底支撑组件，其包括：单块式陶瓷主体；加热器元件，其设置在所述单块式陶瓷主体内；RF天线，其设置在所述单块式陶瓷主体内；支撑所述单块式陶瓷主体的杆；一或多条功率线，其对所述加热器元件和所述RF天线进行供给；层状结构，其形成或包括在所述单块式陶瓷主体内，所述层状结构在其中包括至少一层，所述至少一层的热导率不同于所述单块式陶瓷主体的热导率，其中所述至少一层在使用时被设置在所述加热器元件下方，所述杆被设置在所述至少一层下方，并且所述一或多条功率线穿过所述杆。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人朗姆研究公司，其通讯地址为：美国加利福尼亚州；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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