恭喜朗姆研究公司拉维·库马尔获国家专利权
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龙图腾网恭喜朗姆研究公司申请的专利调节多区域衬底支撑件的温度瞬时以快速调整关键尺寸不均匀性获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113574634B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080021649.5，技术领域涉及：H01L21/033；该发明授权调节多区域衬底支撑件的温度瞬时以快速调整关键尺寸不均匀性是由拉维·库马尔;普尔凯特·阿加瓦尔;阿德里安·拉沃伊;拉梅什·钱德拉塞卡拉;迈克尔·菲利普·罗伯茨设计研发完成，并于2020-03-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本调节多区域衬底支撑件的温度瞬时以快速调整关键尺寸不均匀性在说明书摘要公布了：一种衬底处理系统包含处理室；包含多个加热器区域的衬底支撑件，其布置在所述处理室中；气体输送系统，其被配置成输送处理气体至所述处理室；以及控制器，其被配置成：与所述气体输送系统和所述多个加热器区域通信，在衬底布置在所述衬底支撑件上之后以及在所述衬底到达所述衬底支撑件的稳态温度之前的瞬时温度时段期间，启动处理的第一处理步骤，以及基于在与所述第一处理步骤对应的时段期间针对所述多个加热器区域中的相应区域所确定的平均热函数，调整在所述第一处理步骤期间对所述多个加热器区域中的每一个区域的加热。
本发明授权调节多区域衬底支撑件的温度瞬时以快速调整关键尺寸不均匀性在权利要求书中公布了：1.一种衬底处理系统，其包含：处理室；包含多个加热器区域的衬底支撑件，其布置在所述处理室中；气体输送系统，其被配置成输送处理气体至所述处理室；以及控制器，其被配置成：与所述气体输送系统和所述多个加热器区域通信；在衬底布置在所述衬底支撑件上之后以及在所述衬底到达所述衬底支撑件的稳态温度之前的瞬时温度时段期间，启动处理的第一处理步骤；以及基于在与所述第一处理步骤对应的时段期间针对所述多个加热器区域中的相应区域所确定的平均热函数，调整在所述第一处理步骤期间对所述多个加热器区域中的每一个区域的加热，其中所述多个加热器区域中的一者的所述平均热函数是基于针对所述多个加热器区域中的所述相应区域在所述第一处理步骤的时段期间的温度的积分。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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