恭喜潍坊歌尔微电子有限公司畠山庸平获国家专利权
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龙图腾网恭喜潍坊歌尔微电子有限公司申请的专利一种MEMS器件获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111083623B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201911423033.6，技术领域涉及：H04R19/04；该发明授权一种MEMS器件是由畠山庸平;林育菁设计研发完成，并于2019-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种MEMS器件在说明书摘要公布了：本发明公开了一种MEMS器件，包括基板、MEMS芯片层和网格膜，所述基板具有第一表面和第二表面，所述基板上形成有贯通的第一通孔；所述MEMS芯片层设置在所述基板的第二表面的一侧；所述网格膜设置在所述基板的第一表面的一侧，所述网格膜在对应于所述第一通孔的位置处形成有透声区，所述透声区上分布有网孔。本发明的MEMS器件的所述基板在完成传统结构封装和信号传递的同时，起到了对所述网格膜很好的支撑作用，而且简化了所述MEMS器件的装配工艺和降低了制造成本。
本发明授权一种MEMS器件在权利要求书中公布了：1.一种MEMS器件，其特征在于，包括：基板，所述基板具有第一表面和第二表面，所述基板上形成有贯通的第一通孔；MEMS芯片层，所述MEMS芯片层设置在所述基板的第二表面的一侧，所述MEMS芯片层覆盖在所述第一通孔上；网格膜，所述网格膜设置在所述基板的第一表面的一侧，所述网格膜在对应于所述第一通孔的位置处形成有透声区，所述透声区上分布有网孔，所述透声区被配置为供声音穿过，以传至所述MEMS芯片层；所述透声区呈矩形形状，所述第一通孔的径向端面呈矩形形状，所述网格膜的材料采用晶体材料；所述网孔呈长方形孔，所述长方形孔的开孔方向与所述晶体的晶面的保持一致。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人潍坊歌尔微电子有限公司，其通讯地址为：261061 山东省潍坊市高新区新城街道蓉花社区蓉花路102号歌尔二期工业园10号楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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