恭喜朗姆研究公司大卫·特鲁塞尔获国家专利权
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龙图腾网恭喜朗姆研究公司申请的专利半导体制备和研发制造设施的资本设备上使用的检修隧道获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111739819B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010398530.1，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权半导体制备和研发制造设施的资本设备上使用的检修隧道是由大卫·特鲁塞尔;约翰·多尔蒂;迈克尔·凯洛格;克里斯多夫·佩纳;理查德·古尔德;克雷·孔克尔设计研发完成，并于2016-09-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体制备和研发制造设施的资本设备上使用的检修隧道在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体制备和研发制造设施的资本设备上使用的检修隧道，提供了一种用于处理衬底的系统，所述系统包括：被配置成往来于一个或多个处理模块输送晶片的晶片输送组件，所述晶片输送组件具有至少一个晶片输送模块，其中所述至少一个晶片输送模块的横向侧被配置成耦合到所述一个或多个处理模块；检修层被限定在晶片输送组件的下方，所述检修层被限定在比制造设施层的高度低的高度处，所述系统放置在所述制造设施层中。
本发明授权半导体制备和研发制造设施的资本设备上使用的检修隧道在权利要求书中公布了：1.用于处理晶片的集群工具系统，包括：晶片输送组件，其沿着所述集群工具系统的纵轴延伸；沿所述晶片输送组件的横向侧耦合到所述晶片输送组件的至少两个处理模块，所述晶片输送组件被配置成往来于沿所述横向侧耦合的所述至少两个处理模块输送晶片；检修隧道，其被限定在所述晶片输送组件的下方，所述检修隧道沿着所述集群工具系统的所述纵轴延伸，所述检修隧道的垂直尺寸被限定在所述晶片输送组件的底面和定位在所述晶片输送组件下方的检修层之间。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人朗姆研究公司，其通讯地址为：美国加利福尼亚州；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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