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恭喜上海派拉纶生物技术股份有限公司张岳获国家专利权

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龙图腾网恭喜上海派拉纶生物技术股份有限公司申请的专利具有内部通道和异形表面的微型器件的派瑞林涂布与去膜方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119698219B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-25发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510206254.7,技术领域涉及:H10N10/01;该发明授权具有内部通道和异形表面的微型器件的派瑞林涂布与去膜方法是由张岳;李冬梅;杨玉衡;张金刚设计研发完成,并于2025-02-25向国家知识产权局提交的专利申请。

具有内部通道和异形表面的微型器件的派瑞林涂布与去膜方法在说明书摘要公布了:本发明提供了一种具有内部通道和异形表面的微型器件的派瑞林涂布与去膜方法,包括在微型器件上形成掩膜层和涂布派瑞林膜层,掩膜层的剥离强度1Nmm,拉伸强度30Mpa;将微型器件固定于治具的通孔内;采用碳酸氢钠或干冰对微型器件进行喷砂以去除掩膜层和派瑞林膜层,微型器件顶面和底面的平面部分、异形表面的平面部分的喷砂方向均为直喷,微型器件顶面和底面的边缘、异形表面的非平面部分的喷砂方向为以各自的平面部分为基准30‑45度角喷射,喷砂压力为0.5‑4Pa,喷砂时间为5‑30秒;将微型器件置入第二试剂中进行脱水;将微型器件进行烘干干燥。本发明能有效提升微型器件的异形表面上掩膜层和派瑞林膜层去除的效率和精确度,同时大幅度降低对器件的潜在损伤风险。

本发明授权具有内部通道和异形表面的微型器件的派瑞林涂布与去膜方法在权利要求书中公布了:1.一种具有内部通道和异形表面的微型器件的派瑞林涂布与去膜方法,其特征在于,包括以下步骤:S101、在所述微型器件顶面、所述微型器件底面、所述异形表面上形成掩膜层,所述掩膜层的剥离强度1Nmm,拉伸强度30Mpa;S102、采用气相沉积法在所述微型器件内部与外部表面涂布派瑞林膜层;S103、将所述微型器件固定于治具的通孔内,所述通孔的内壁上设置有与所述异形表面相匹配的异形凹陷,所述异形凹陷用于沿周向包裹所述异形表面;S104、采用碳酸氢钠或干冰对所述微型器件进行喷砂以去除掩膜层和派瑞林膜层,所述微型器件顶面和底面的平面部分、所述异形表面的平面部分的喷砂方向均为直喷,所述微型器件顶面和底面的边缘、所述异形表面的非平面部分的喷砂方向为以各自的平面部分为基准30-45度角喷射,喷砂压力为0.5-4Pa,喷砂时间为5-30秒;S105、将喷砂后的所述微型器件置入第二试剂中进行脱水;S106、将脱水后的所述微型器件进行烘干干燥。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人上海派拉纶生物技术股份有限公司,其通讯地址为:201812 上海市嘉定区江桥镇金园三路223号2幢301室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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