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龙图腾网恭喜华侨大学申请的专利一种金刚石微通道散热器及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119673778B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510198737.7，技术领域涉及：H01L21/48；该发明授权一种金刚石微通道散热器及其制备方法是由廖信江;张文静;黄辉;张超涵;赖志远设计研发完成，并于2025-02-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种金刚石微通道散热器及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种金刚石微通道散热器及其制备方法，涉及高热流密度芯片散热技术领域。本方案以固结有活性磨粒的金属丝或者活性金属丝作为线锯切割工具，以多线切割机床为加工设备，通过使线网快速形成线弓的方法，让活性磨粒线锯或活性金属丝在压力条件下高线速、往复、干式划擦金刚石基体，金刚石表面在活性磨粒或活性金属丝的作用下发生相变生成非晶碳或石墨或碳化物，再通过活性磨粒或活性金属丝的机械作用将相变产物去除，进而露出新鲜的金刚石表面，如此循环上述过程，实现金刚石微通道散热器的高效、高质加工。

本发明授权一种金刚石微通道散热器及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种金刚石微通道散热器的制备方法，其特征在于，包括：带有冷却液入口和出口的液体流动腔以及适于安装在所述液体流动腔内的金刚石微通道基体，所述金刚石微通道基体的制备包括如下步骤：S1：制备活性磨粒线锯，采用钎焊或烧结或电镀的方式将活性磨粒固结在芯线上；或以活性金属丝为线锯切割工具；S2：将线锯安装在多线切割机床工作台上，根据微通道的结构参数调整线槽间距以构成线锯线网；S3：选择金刚石基体，并根据其厚度选择玻璃或蓝宝石或树脂块作为辅助支撑进行贴合形成贴合体，再将贴合体一起安装在线锯多线切割机床的工作台上，使金刚石基体与线锯线网处于即将接触位置；S4：调节设定多线切割机床的线张力、线速度、金刚石基体进给快速形成指定线弓高度的速度、形成指定线弓后的金刚石基体进给速度、线锯运动往复周期和金刚石基体进给轨迹；S5：运行加工程序，使线锯线网在机床驱动系统的带动下进行周期性往复运动，工作台快速进给预定距离后停止进给，形成指定线弓高度；线锯线网上固结的活性磨粒在金刚石基体上作高速、往复、干式划擦，使线锯上固结的活性磨粒在压力和温度条件下与金刚石发生相互作用生成非晶碳、石墨和碳化物，产生的非晶碳、石墨和碳化物再通过活性磨粒的机械作用去除，重复本步骤以实现金刚石基体的微通道加工；S6：待加工程序运行完毕，取出金刚石基体，置于超声酒精浴中清洗，放入烘箱中烘干，获得最终的金刚石微通道基体；S7：将金刚石微通道基体嵌入液体流动腔，通过键合实现二者贴合和密封，在冷却液入口和出口外接水管并与水泵连接，形成液体对流的循环回路，最终获得完整的U形截面金刚石微通道散热器。

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