恭喜苏州芯慧联半导体科技有限公司马生林获国家专利权
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龙图腾网恭喜苏州芯慧联半导体科技有限公司申请的专利一种晶锭存储及载具更换设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119503328B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-25发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510097336.2,技术领域涉及:B65G1/04;该发明授权一种晶锭存储及载具更换设备是由马生林;杨广阔设计研发完成,并于2025-01-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶锭存储及载具更换设备在说明书摘要公布了:本发明涉及半导体存储领域,公开了一种晶锭存储及载具更换设备,包括整机框架模块、机械手搬运模块、晶锭翻转模块、升降模块;本发明的机械手搬运模组通过平移的方式实现晶锭及不同载台在上料、暂存、升降、下料不同模组之间的交互,能够最大程度避免因为晶锭本身自重所造成的安全风险;此外,采用多侧定位及锁定机构实现晶锭及其载具精准定位,晶锭翻转模块可将晶锭及其载台通过夹持的方式,翻转驱动的作用下,实现180°翻转的效果。
本发明授权一种晶锭存储及载具更换设备在权利要求书中公布了:1.一种晶锭存储及载具更换设备,其特征在于,包括:整机框架模块100,所述整机框架模块100包括地轨102和储位架101,所述储位架101用于储存晶锭和晶锭的载具,所述载具用于承载对应的晶锭;所述储位架101上设置有载具定位模块400,所述载具定位模块400包括定位组件401和锁定机构403;所述定位组件401用于对储位上的所述载具的位置进行限位,所述锁定机构403用于在所述载具进入储位架101上对应的储位并接触所述定位组件401后对载具位置进行锁定;机械手搬运模块300,所述机械手搬运模块300活动安装于所述地轨102上,用于对储位架101上的晶锭及载具进行不同工位间的转移;所述机械手搬运模块300包括与所述锁定机构403配合的解锁滚轮307,所述解锁滚轮307用于在晶锭及载具靠位至定位组件401时,触动所述解锁滚轮307以驱动锁定机构403完成储位上的晶锭及其载具限位锁定;所述锁定机构403包括限位滚轮组件4031、滚轮支架4032、调节槽4033、旋转支架4034、第一锁紧基座4035、凸轮组件4036和第二锁紧基座4037;所述滚轮支架4032通过第一锁紧基座4035安装在储位架101上对应的储位进口位置,所述滚轮支架4032上设置有L型的调节槽4033,所述限位滚轮组件4031安装在所述滚轮支架4032上;所述旋转支架4034一端铰接在第二锁紧基座4037上;所述凸轮组件4036一端固定在旋转支架4034上,另一端延伸至滚轮支架4032的调节槽4033内;晶锭翻转模块600,所述晶锭翻转模块600用于接收升降模块500传输的晶锭及载具,并对对应的晶锭进行夹持后进行预设角度的翻转;升降模块500,所述升降模块500用于接收机械手搬运模块300来料的晶锭及其载具,以及通过平移和升降将晶锭及载具运输至晶锭翻转模块600。
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