恭喜素珀电子科技(上海)有限公司常志勇获国家专利权
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龙图腾网恭喜素珀电子科技(上海)有限公司申请的专利基板传送设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119495630B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-25发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510072683.X,技术领域涉及:H01L21/687;该发明授权基板传送设备是由常志勇;董宏达;侯双明;孟君燕设计研发完成,并于2025-01-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板传送设备在说明书摘要公布了:本发明公开了基板传送设备,包括本体、手臂、升降器和升降组件,本体形成有容纳空间,升降组件包括滑轨和滑块,滑块为两个且滑动连接在所述滑轨上,两个所述滑块之间形成有连接区;驱动组件,设置在容纳空间内,驱动组件包括M个沿高度方向叠加放置的动力源,动力源用于驱动关节转动,在M个所述动力源中沿水平方向对应所述连接区的N个动力源的外侧设置有联合壳体;其中,所述联合壳体的底部与所述升降器连接,所述滑块与所述联合壳体固定连接,所述联合壳体用于承载N个相邻并靠近所述联合壳体底部的动力源,且N≤M。通过采用上述技术方案,避免了由于动力源尺寸或者组合叠置不平整导致安装精度差,进而导致整体的升降精度差的问题。
本发明授权基板传送设备在权利要求书中公布了:1.基板传送设备,包括本体(1)、枢转连接在所述本体(1)的手臂、驱动所述手臂与所述本体(1)在高度方向发生相对位移的升降器(2),所述本体(1)内部具有容纳空间,其特征在于,所述基板传送设备包括:升降组件(3),包括滑轨(31)和滑块(32),所述滑轨(31)沿所述本体(1)的高度方向在所述容纳空间内设置,所述滑块(32)为两个且滑动连接在所述滑轨(31)上,两个所述滑块(32)之间形成有连接区(321),所述滑轨(31)固定连接在所述本体(1)的内部,所述升降器(2)与所述本体(1)的底部固定连接;驱动组件(4),设置在所述容纳空间内,所述驱动组件(4)包括M个沿高度方向叠加放置的动力源,所述动力源用于驱动所述手臂的关节转动,在M个所述动力源中沿水平方向对应所述连接区(321)的N个动力源的外侧设置有联合壳体(41);其中,所述联合壳体(41)的底部与所述升降器(2)连接,所述滑块(32)与所述联合壳体(41)固定连接,所述联合壳体(41)用于承载N个相邻并靠近所述联合壳体(41)底部的动力源,且N≤M;所述手臂包括大臂主体(5)、小臂主体(6)、第一末端执行器(7)和第二末端执行器(10),所述大臂主体(5)与所述小臂主体(6)铰接并具有肘部关节点,所述大臂主体(5)背离铰接点的另一端具有肩部关节点,所述小臂主体(6)与所述第一末端执行器(7)铰接并具有腕部关节点,所述第一末端执行器(7)与所述第二末端执行器(10)铰接,在相邻的关节点之间设置有带轮传动机构,所述带轮传动机构用于传递动能;所述带轮传动机构包括两个带轮主体(9)和双重传动带(91),所述带轮主体(9)的外周面沿切线方向开设有下沉槽(92),在所述下沉槽(92)内设置有固定块(96),所述固定块(96)位于所述带轮主体(9)的径向平行方向上,所述固定块(96)在所述带轮主体(9)径向伸出的长度小于所述下沉槽(92)的深度;其中,当所述双重传动带(91)缠绕在所述带轮主体(9)外周面且覆盖所述下沉槽(92)时,所述双重传动带(91)沿宽度方向的边缘与所述带轮主体(9)的外周面保持接触,所述带轮主体(9)的外周面围设的区域沿铅垂方向的投影覆盖所述固定块(96)上。
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