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龙图腾网恭喜天津中科晶禾电子科技有限责任公司申请的专利一种光学标定成像系统和光学标定方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119509362B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510060276.7，技术领域涉及：G01B11/00；该发明授权一种光学标定成像系统和光学标定方法是由么之光;王莎;高智伟;母凤文;谭向虎;刘福超设计研发完成，并于2025-01-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种光学标定成像系统和光学标定方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种光学标定成像系统和光学标定方法。其中，光学标定成像系统包括：第一成像单元、第二成像单元、误差检测单元和控制单元；误差检测单元包括检测光源和第一光学组件；检测光源用于出射检测光线至第一光学组件，第一光学组件用于将检测光线输送至第一成像单元，输送至第二成像单元中；第一成像单元用于生成第一检测图像，第二成像单元生成第二检测图像；控制单元根据第一检测图像、第二检测图像、第一成像图像和第二成像图像确定第二样品的实际待移动量。本发明的技术方案，通过计算光学标定成像系统中的光学器件造成的实际偏移量并将该实际偏移量补偿在晶圆对位过程中，实现了对位误差补偿，提高了对位的精度。

本发明授权一种光学标定成像系统和光学标定方法在权利要求书中公布了：1.一种光学标定成像系统，其特征在于，包括：第一成像单元、第二成像单元、误差检测单元和控制单元；所述控制单元与所述第一成像单元和所述第二成像单元通信连接；所述误差检测单元包括检测光源和第一光学组件；所述检测光源用于出射检测光线至所述第一光学组件，所述第一光学组件用于将所述检测光线分别沿第一检测光路输送至所述第一成像单元，沿第二检测光路输送至所述第二成像单元中；所述第一成像单元用于接收所述检测光线生成第一检测图像，所述第二成像单元用于接收所述检测光线生成第二检测图像；所述第一成像单元用于在第一样品位于第一成像光路上时获取第一成像图像；所述第二成像单元用于在第二样品位于第二成像光路上时获取第二成像图像；所述第二检测光路复用为部分所述第一成像光路和部分所述第二成像光路；所述控制单元用于根据所述第一检测图像和所述第二检测图像确定实际偏移量；根据所述第一成像图像和所述第二成像图像确定理论待移动量；根据所述理论待移动量和所述实际偏移量确定所述第二样品的实际待移动量。

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