恭喜湖南艾科威半导体装备有限公司田杰成获国家专利权
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龙图腾网恭喜湖南艾科威半导体装备有限公司申请的专利一种用于晶圆冷却的氦背冷组件及装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119381301B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411942747.9，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种用于晶圆冷却的氦背冷组件及装置是由田杰成;尹昊;夏圣设计研发完成，并于2024-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于晶圆冷却的氦背冷组件及装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于晶圆冷却的氦背冷组件及装置，属于晶圆加工设备技术领域中一种冷却装置，其技术方案为包括：用于部件的密封转动与固定安装；转动主轴穿过所述磁流体盘转动设置；支撑架通过波纹管与所述转动主轴固定连接，以及所述转动主轴顶部设置有水冷基片台，转动主轴下方设置有水汽滑环座，转动主轴与所述水汽滑环座密封转动设置，转动主轴内部设置有对水汽滑环座进行冷却介质输送的管道组件，转动主轴通过固定设置在所述磁流体盘下方的升降转动组件实现相对所述磁流体盘的升降和旋转控制；本发明提供一种用于晶圆冷却的氦背冷组件及装置，实现对转动主轴进行升降和冷却介质的循环提供，进而提高对晶圆进行加工的稳定性和便捷性。
本发明授权一种用于晶圆冷却的氦背冷组件及装置在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆冷却的氦背冷组件，其特征在于，包括：磁流体盘（1），用于部件的密封转动与固定安装；转动主轴（2），所述转动主轴（2）穿过所述磁流体盘（1）转动设置；支撑架（3），所述支撑架（3）通过波纹管（4）与所述转动主轴（2）固定连接，以及所述转动主轴（2）顶部设置有水冷基片台（5），所述转动主轴（2）下方设置有水汽滑环座（6），所述转动主轴（2）与所述水汽滑环座（6）密封转动设置，所述转动主轴（2）内部设置有对冷却介质输送的管道组件（7），所述转动主轴（2）通过固定设置在所述磁流体盘（1）下方的升降转动组件（8）实现相对所述磁流体盘（1）的升降和旋转控制。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人湖南艾科威半导体装备有限公司，其通讯地址为：410000 湖南省长沙市望城经济技术开发区普瑞西路金荣望城科技产业园厂房一期第C5栋三层301号房；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
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