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龙图腾网恭喜南京嘉阳工程技术有限公司申请的专利多频调制等离子表面处理方法与系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119028882B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411508972.1，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权多频调制等离子表面处理方法与系统是由杨月明;朱成;季云设计研发完成，并于2024-10-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本多频调制等离子表面处理方法与系统在说明书摘要公布了：本发明公开了多频调制等离子表面处理方法与系统，涉及半导体制造技术领域；系统包括采集模块、处理模块和控制模块；采集模块负责获取目标等离子体的蚀刻信息及其特性数据，如光学、电学和气体成分数据，并将这些数据对齐至统一的时间轴；处理模块通过预设的机器学习模型分析这些数据，生成工艺状态评估信息，并利用遗传算法基于这些信息生成目标等离子体的第一工艺参数；控制模块则根据这些参数对等离子体源进行多频调制，优化等离子体的物理属性；本发明通过优化多频调制等离子表面处理过程中的多源数据同步性，以及等离子体的物理属性以提升半导体蚀刻效果。

本发明授权多频调制等离子表面处理方法与系统在权利要求书中公布了：1.多频调制等离子表面处理系统，其特征在于，包括：采集模块、处理模块以及控制模块；所述采集模块，用于获取蚀刻工艺信息，并通过传感器获取多频调制下的目标等离子体的特性数据，包括光学数据、电学数据以及气体成分数据；将不同类型的特性数据对齐至同一时间轴；所述处理模块，用于将对齐至同一时间轴的所述目标等离子体的特性数据输入至预设的机器学习模型，生成工艺状态评估信息；基于所述工艺状态评估信息，利用遗传算法进行优化，迭代计算射频信号的功率输出和频率组合，生成所述目标等离子体的第一工艺参数；所述控制模块，用于基于所述第一工艺参数，对产生所述目标等离子体的等离子体源进行多频调制，调整所述目标等离子体的物理属性；其中，所述控制模块配置有多个频率生成单元，所述多个频率生成单元用于基于所述第一工艺参数，输出多种频率的射频信号并独立调节各个所述射频信号的功率，以动态调节所述目标等离子体的离子密度和能量分布；所述将不同类型的特性数据对齐至同一时间轴，包括：针对所述光学数据，对于每个数据采集时间点，使用三次样条插值方法，根据相邻的已知光学数据点，计算出在该时间点的光学数据；针对所述电学数据，对于每个数据采集时间点，使用线性插值方法，根据相邻的已知电学数据点，计算出在该时间点的电学数据；针对所述气体成分数据，对于每个数据采集时间点，使用卡尔曼滤波器，并引入交互噪声协方差矩阵，对气体成分数据进行校正和插值，计算出在该时间点的气体成分数据；其中，所述交互噪声协方差矩阵，用于描述不同气体成分测量之间的统计依赖关系，以在卡尔曼滤波器的测量更新过程中引入气体成分之间的相互作用。

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