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龙图腾网恭喜苏州安田丰科技有限公司申请的专利一种晶圆片不接触取放手获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119008503B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411492826.4，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权一种晶圆片不接触取放手是由王炫铭;王伟;王静设计研发完成，并于2024-10-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆片不接触取放手在说明书摘要公布了：本发明提供了应用于晶圆片搬运技术领域的一种晶圆片不接触取放手，包括安装于盘孔内的柱头，开设于柱头的圆台形贯穿孔，以及安装于贯穿孔内的圆台形引导块，本发明通过将柱头安装于盘孔内，并将柱头内的贯穿孔设置为圆台形结构，将同样为圆台形结构的引导块设置于贯穿孔内，当高速气流在贯穿孔内自上而下喷出时，借助贯穿孔内端壁和引导块外端壁圆台形结构的引导，使得高速气流喷出时可以均匀分散在晶圆片顶部的各个方向上，进而使得晶圆片各个方向上受到的负压吸附力处于相对均衡的状态，避免晶圆片被悬空吸持时晃动，在一定程度上提升了该装置不接触抓取晶圆片时的稳定性。

本发明授权一种晶圆片不接触取放手在权利要求书中公布了：1.一种晶圆片不接触取放手，包括杆身（1），其特征在于，所述杆身（1）的端头处安装有吸盘组件（2），且吸盘组件（2）包括设置为L形结构的L型架（201），所述L型架（201）的底部通过螺栓固定连接有连接块（202），所述连接块（202）的底部通过螺栓固定连接有吸盘头（203），所述连接块（202）的侧端壁上固定安装有气管接头（204），所述吸盘头（203）的底部开设有盘孔（205），且盘孔（205）内安装有柱头（3），所述柱头（3）内开设有为圆台形结构的贯穿孔，且贯穿孔与气管接头（204）相连通，所述贯穿孔内设置有同为圆台形结构的引导块（301），所述引导块（301）的外侧尺寸小于贯穿孔的内侧尺寸；所述连接块（202）的底部竖直开设有与气管接头（204）相连通的第一气流道（206），所述吸盘头（203）的顶部竖直开设有对应设置于第一气流道（206）下方的第二气流道（207），所述吸盘头（203）的一侧端壁上开设有与第二气流道（207）内部相连通的第三气流道（208），所述吸盘头（203）的另一侧端壁上开设有与第三气流道（208）垂直连通的第四气流道（209），且第四气流道（209）位于吸盘头（203）内的一端与贯穿孔内部相连通；所述柱头（3）上开设有连通在第四气流道（209）和贯穿孔内端壁之间的第五气流道（303），且第五气流道（303）设置为螺线形结构；所述盘孔（205）的内端壁上装配有内螺纹，所述柱头（3）的外端壁上装配有与内螺纹相适配的外螺纹，所述柱头（3）螺纹旋接在盘孔（205）内；所述第四气流道（209）与盘孔（205）的内端壁直接连通，所述柱头（3）的外端壁上环绕开设有与第五气流道（303）相连通的环槽（304），且环槽（304）与第四气流道（209）位于同一平面上；所述柱头（3）的顶部覆盖有封堵在贯穿孔上的顶盖（302），且顶盖（302）通过螺栓与柱头（3）固定连接，所述引导块（301）同样通过螺栓与顶盖（302）固定连接，所述第五气流道（303）和环槽（304）均开设在柱头（3）与顶盖（302）相贴合的端壁上。

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