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龙图腾网恭喜浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司申请的专利外延炉的源气进气控制组件及调节方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118996620B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411479798.2，技术领域涉及：C30B25/16；该发明授权外延炉的源气进气控制组件及调节方法是由徐新华设计研发完成，并于2024-10-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本外延炉的源气进气控制组件及调节方法在说明书摘要公布了：本发明公开了外延炉的源气进气控制组件及调节方法，涉及外延炉的源气进气控制技术领域，外延炉的源气进气控制组件，包括进气件，其与反应壳体密封连接，且一端置于反应壳体内；均流组件，其置于所述进气件位于反应壳体外的一端，其一端与所述进气件连接，另一端与源气进气系统和吹扫气体系统连接；本发明通过多孔均流板、导风件、弧形导风片、弧形弹性导风件和滑动按压件等之间的相互配合，控制伸缩驱动组件伸长，使导风筒从均流板拔出，然后控制吹扫气体系统向均流组件供气，进入的气体在弧形弹性导风件、弧形导风片的导向下，使吹扫气体流向四周，最终从贯穿槽进入进气件内，实现对进气件的吹扫。

本发明授权外延炉的源气进气控制组件及调节方法在权利要求书中公布了：1.外延炉的源气进气控制组件，包括进气件，其特征在于，其与反应壳体密封连接，且一端置于反应壳体内；均流组件，其置于所述进气件位于反应壳体外的一端，其一端与所述进气件连接，另一端与源气进气系统和吹扫气体系统连接；所述均流组件包括对接座，其与所述进气件相对接；容纳槽，其开设于所述对接座靠近进气件的一侧；多孔均流板，其置于所述容纳槽内部，其一端设有与所述进气件配合的密封凸起；导风筒，其置于所述多孔均流板与对接座之间，且均与所述多孔均流板和对接座滑动密封插接；弧形导风片，其置于所述导风筒内且与对接座连接，其中部向所述对接座拱起，其中部开设有通风口；弧形弹性导风件，其置于所述导风筒内，且位于所述弧形导风片与多孔均流板之间，其弧形拱起方向可调；与气源进气系统和吹扫气体系统连接的进风管，其贯穿所述对接座，且与通风口相对应；滑动按压件，其置于所述导风筒远离多孔均流板的一侧，且延伸至所述对接座外，且与所述对接座密封滑动连接；两个凸起部，其分别设置于所述弧形弹性导风件前后两侧，其用于使所述弧形弹性导风件弹性变形，改变所述弧形弹性导风件的弧形拱起方向；伸缩驱动组件，其与所述滑动按压件连接，其用于驱动所述滑动按压件滑动；所述多孔均流板靠近导风筒的一侧和容纳槽内壁均开设有容纳导风筒的第一沉槽；所述导风筒包括导风本体；第一弹性变形部，其置于所述导风本体靠近多孔均流板的一端；第二弹性变形部，其置于所述导风本体背离多孔均流板的一端；还包括第二沉槽，其开设于所述第一沉槽内壁；弹性密封圈，其置于所述第二沉槽内；密封压板，其置于所述第二沉槽内，其通过紧固件将自身和所述弹性密封圈压紧于第二沉槽内。

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