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龙图腾网恭喜无锡超通智能制造技术研究院有限公司申请的专利一种精细金属掩模版多功能加工设备及其加工方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118951298B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411432916.4，技术领域涉及：B23K26/00；该发明授权一种精细金属掩模版多功能加工设备及其加工方法是由运侠伦;李晓;张宝存设计研发完成，并于2024-10-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种精细金属掩模版多功能加工设备及其加工方法在说明书摘要公布了：本发明涉及掩模版加工技术领域，尤其是一种精细金属掩模版多功能加工设备及其加工方法。综合加工头包括平台清洁装置、激光切割装置、激光修复装置、测量装置以及研磨装置；安装座上安装有ESC静电自动张紧吸附平台，与激光切割装置配合，对FMM版的两端废料区耳料进行切割；多孔陶瓷悬空自动张紧吸附平台，安装在ESC静电自动张紧吸附平台上，与测量装置和研磨装置配合，对FMM版版面上的凸起进行检测和研磨；大幅面ESC静电吸附平台，与平台清洁装置和激光修复装置配合，对FMM版进行修复；综合加工头可实现多种修复功能；加工平台通过导轨组件相组合，自动适应相匹配修复工艺，张紧功能、ESC吸附，且可兼容目前所有规格型号尺寸等多功能综合性加工平台。

本发明授权一种精细金属掩模版多功能加工设备及其加工方法在权利要求书中公布了：1.一种精细金属掩模版多功能加工设备，其特征在于：包括综合加工头（1）和加工平台（2），所述综合加工头（1）安装在移动装置上，综合加工头（1）安装在加工平台（2）的上方；所述综合加工头（1）包括平台清洁装置（10）、激光切割装置（11）、激光修复装置（12）、测量装置（13）以及研磨装置（14）；所述加工平台（2）包括安装座（20），所述安装座（20）上安装有ESC静电自动张紧吸附平台（21），用以承接FMM版，并张紧、悬空FMM版，与激光切割装置（11）配合，对FMM版的两端废料区耳料进行切割；多孔陶瓷悬空自动张紧吸附平台（22），安装在ESC静电自动张紧吸附平台（21）上，且与ESC静电自动张紧吸附平台（21）上下错位设置，用以承接FMM版，并张紧、悬空FMM版，与测量装置（13）和研磨装置（14）配合，对FMM版版面上的凸起进行检测和研磨；以及，大幅面ESC静电吸附平台（23），与平台清洁装置（10）和激光修复装置（12）配合，用以承接FMM版，并对FMM版进行修复；背光组件（24），用以放置于大幅面ESC静电吸附平台（23）中静电吸附平台磁浮动子（232）上，用以对静电吸附玻璃（236）进行整幅的照亮，进而观察FMM版上刻孔的形状；所述ESC静电自动张紧吸附平台（21）包括对称设置的支撑柱组件（211），两支撑柱组件（211）沿安装座（20）的长度方向安装，每根支撑柱组件（211）上均安装有磁悬浮基板（212），每个磁悬浮基板（212）上均安装有第一磁悬浮定子（214），第一磁悬浮定子（214）的两端均安装有切割静电吸附磁悬浮横梁（213），每根切割静电吸附磁悬浮横梁（213）的底面两端均安装有与第一磁悬浮定子（214）配合的第二磁悬浮定子（215），两切割静电吸附磁悬浮横梁（213）沿第一磁悬浮定子（214）作相对磁悬浮滑移；所述多孔陶瓷悬空自动张紧吸附平台（22）包括第三磁悬浮定子（221）和研磨多孔陶瓷横梁（223），所述第三磁悬浮定子（221）安装在ESC静电自动张紧吸附平台（21）中磁悬浮基板（212）上，磁悬浮基板（212）的两端均安装有研磨多孔陶瓷横梁（223），每根研磨多孔陶瓷横梁（223）的两端均安装有与第三磁悬浮定子（221）配合的第四磁悬浮定子（222），两研磨多孔陶瓷横梁（223）沿第三磁悬浮定子（221）作相对磁悬浮滑移，两第三磁悬浮定子（221）与两研磨多孔陶瓷横梁（223）之间围成一作业区域；所述大幅面ESC静电吸附平台（23）包括静电吸附平台磁浮动子安装座（231）和玻璃静电平台（233），所述静电吸附平台磁浮动子安装座（231）与玻璃静电平台（233）之间的长度方向的两侧边均安装有若干磁力弹簧（234）和电动推杆（235），玻璃静电平台（233）内安装有静电吸附玻璃（236），静电吸附平台磁浮动子安装座（231）上安装有静电吸附平台磁浮动子（232），静电吸附平台磁浮动子（232）的宽度小于玻璃静电平台（233）的长度宽度，背光组件（24）放置于静电吸附平台磁浮动子（232）的上板面上，并在静电吸附平台磁浮动子（232）上磁悬浮位移。

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