恭喜全芯智造技术有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网恭喜全芯智造技术有限公司申请的专利用于仿真晶圆处理过程的方法、设备和介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118862368B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411305634.8，技术领域涉及：G06F30/17；该发明授权用于仿真晶圆处理过程的方法、设备和介质是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成，并于2024-09-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于仿真晶圆处理过程的方法、设备和介质在说明书摘要公布了：本公开的实施例提供了仿真晶圆处理过程的方法、设备和介质。该方法包括：至少基于晶圆的待处理区域的当前时刻的第一工艺参数的值，确定当前时刻要对待处理区域进行的目标处理阶段的目标处理；以及至少基于与目标处理阶段相关联的第二工艺参数的值，对待处理区域的目标处理进行仿真，以更新待处理区域的下一时刻的第一工艺参数的值。以此方式，能够根据当前时刻的工艺参数值来预测下一时刻的工艺参数值，从而完成对晶圆处理的仿真。
本发明授权用于仿真晶圆处理过程的方法、设备和介质在权利要求书中公布了：1.一种用于仿真晶圆处理过程的方法，包括：至少基于晶圆的待处理区域的当前时刻的第一工艺参数的值，确定所述待处理区域所处于的材料界面信息；基于所述材料界面信息，确定所述当前时刻要对所述待处理区域进行的目标处理阶段的目标处理；至少基于名义研磨速率、所述待处理区域的非沟道区域的名义压力、所述待处理区域的沟道区域的名义压力和至少一个压力修正系数值，确定与所述目标处理阶段相关联的第二工艺参数的值，所述第二工艺参数至少包括针对所述目标处理阶段的用于所述非沟道区域的第一仿真研磨率和用于所述沟道区域的第二仿真研磨率；以及至少基于与所述目标处理阶段相关联的所述第二工艺参数的值，对所述待处理区域的所述目标处理进行仿真，以更新所述待处理区域的下一时刻的所述第一工艺参数的值。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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