乐金显示光电科技(中国)有限公司龙梅丽获国家专利权
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龙图腾网获悉乐金显示光电科技(中国)有限公司申请的专利化学气相沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222795721U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-25发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421788899.3，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型化学气相沉积设备是由龙梅丽设计研发完成，并于2024-07-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本化学气相沉积设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种化学气相沉积设备，属于化学气相技术领域。化学气相沉积设备包括化学气相沉积室，具有矩形容置腔，所述化学气相沉积室设有进气通道；喷淋单元，设置于所述化学气相沉积室内，所述进气通道的入口与供气装置连通，所述喷淋单元与所述进气通道的出口连通；承载座，设置于所述化学气相沉积室内，且所述承载座与所述喷淋单元沿Z方向间隔设置；清扫单元，设置于所述化学气相沉积室的侧壁上，所述清扫单元包括清洁刷，所述清洁刷用于将所述化学气相沉积室拐角处的残膜推送至所述承载座上表面的中间位置处。本实用新型能够清洁化学气相沉积室的各个角落，避免大量残膜堆积，保证化学气相沉积设备的正常工作。
本实用新型化学气相沉积设备在权利要求书中公布了：1.化学气相沉积设备，其特征在于，包括：化学气相沉积室，具有矩形容置腔，所述化学气相沉积室设有进气通道，喷淋单元，设置于所述化学气相沉积室内，所述进气通道的入口与供气装置连通，所述喷淋单元与所述进气通道的出口连通；承载座，设置于所述化学气相沉积室内，且所述承载座与所述喷淋单元沿Z方向间隔设置；清扫单元，设置于所述化学气相沉积室的侧壁上，所述清扫单元包括清洁刷，所述清洁刷用于将所述化学气相沉积室拐角处的残膜推送至所述承载座上表面的中间位置处。
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