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龙图腾网获悉上海优睿谱半导体设备有限公司申请的专利一种运动平台中心定位的测量系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118328854B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410769020.9，技术领域涉及：G01B11/00；该发明授权一种运动平台中心定位的测量系统及方法是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成，并于2024-06-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种运动平台中心定位的测量系统及方法在说明书摘要公布了：本发明涉及晶圆缺陷检测领域，提出一种运动平台中心定位的测量系统及方法。该系统包括运动平台，其包括Y轴运动平台以及Theta旋转平台，其中Y轴运动平台沿Y轴方向直线运动，Theta旋转平台沿旋转中心点O旋转；入射光路，其将光斑聚焦在晶圆上以形成扫描中心点O,；成像光路，其收集晶圆上的散射光或者反射光的能量以形成扫描图像；以及晶圆，其布置在Theta旋转平台上，所述晶圆上设有特征图案，其中通过对特征图案进行扫描和坐标计算以确定旋转中心点O与扫描中心点O,之间的偏移，并且调节运动平台以使所述旋转中心点O与扫描中心点O,对准。本发明能够实现晶圆缺陷检测系统中光学扫描点与旋转平台中心点的对准，有效提高晶圆缺陷检测结果的准确性。

本发明授权一种运动平台中心定位的测量系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种运动平台中心定位的测量系统，其特征在于，包括：运动平台，包括Y轴运动平台以及Theta旋转平台，其中所述Y轴运动平台被配置为沿Y轴方向直线运动，所述Theta旋转平台被配置为沿旋转中心点O旋转；入射光路，被配置为将光斑聚焦在晶圆上以形成扫描中心点O′；成像光路，被配置为收集晶圆上的散射光或者反射光的能量以形成扫描图像；以及晶圆，布置在所述Theta旋转平台上，所述晶圆上设有特征图案，所述特征图案包括第一特征图案以及第二特征图案，所述第一特征图案是具有第一半径的圆，所述第二特征图案是具有第二半径的圆,其中通过对所述特征图案进行扫描和坐标计算以确定所述旋转中心点O与所述扫描中心点O′之间的偏移，并且调节所述运动平台以使所述旋转中心点O与所述扫描中心点O′对准，包括下列步骤:基于所述第一特征图案的位置坐标计算扫描中心点O′与旋转中心点O在Y轴方向上的偏移Y_offset；基于所述第二特征图案的位置坐标计算扫描中心点O′与旋转中心点O在X轴方向上的偏移X_offset；判断扫描中心点O′与旋转中心点O在X轴方向和Y轴方向上的偏移是否在设定范围内；当扫描中心点O′与旋转中心点O在X轴方向和\或Y轴方向上的偏移不在设定范围内时，根据计算结果对扫描中心点O′和\或旋转中心点O的位置进行调节；以及当扫描中心点O′与旋转中心点O在X轴方向和Y轴方向上的偏移在设定范围内时结束运动平台中心定位。

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