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无锡普乐新能源有限公司请求不公布姓名获国家专利权

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龙图腾网获悉无锡普乐新能源有限公司申请的专利一种用于CVD炉体的硅片舟承托机构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222809536U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-29发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421144222.6,技术领域涉及:C23C16/458;该实用新型一种用于CVD炉体的硅片舟承托机构是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成,并于2024-05-24向国家知识产权局提交的专利申请。

一种用于CVD炉体的硅片舟承托机构在说明书摘要公布了:本申请提供了一种用于CVD炉体的硅片舟承托机构,硅片舟承托机构包括桨组件、炉盖,桨组件用于承托硅片舟且桨组件的第一端穿设于炉盖,炉盖内部设置有分配气路,炉盖还包括设置在周向侧面或外侧面的第一进气孔,炉盖朝向CVD炉体的内侧面设置有多个第一出气孔,分配气路与多个第一出气孔连通,供气气路与第一进气孔对接,使得工艺气体通过第一进气孔进入分配气路,并从出气孔均匀地流向CVD炉体内部,提高工艺效果。

本实用新型一种用于CVD炉体的硅片舟承托机构在权利要求书中公布了:1.一种用于CVD炉体的硅片舟承托机构,其特征在于,所述硅片舟承托机构包括桨组件、炉盖,其中:所述桨组件用于承载硅片舟,所述桨组件的第一端穿设于所述炉盖;所述炉盖内部设置有分配气路,所述炉盖还包括设置在周向侧面或外侧面的第一进气孔,所述炉盖朝向CVD炉体的内侧面设置有均匀排布的多个第一出气孔,所述分配气路与所述多个第一出气孔连通,供气气路与所述第一进气孔对接,使得工艺气体通过所述第一进气孔进入所述分配气路,并从所述多个第一出气孔流向CVD炉体内部。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人无锡普乐新能源有限公司,其通讯地址为:214000 江苏省无锡市新吴区新华路3号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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