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恭喜中芯集成电路(宁波)有限公司上海分公司石虎获国家专利权

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龙图腾网恭喜中芯集成电路(宁波)有限公司上海分公司申请的专利指纹识别模组及其制造方法、电子设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN112115755B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-29发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201911013297.4,技术领域涉及:G06V40/13;该发明授权指纹识别模组及其制造方法、电子设备是由石虎;刘孟彬设计研发完成,并于2019-10-23向国家知识产权局提交的专利申请。

指纹识别模组及其制造方法、电子设备在说明书摘要公布了:一种指纹识别模组及其制造方法、电子设备,制造方法包括:提供衬底,衬底中形成有信号处理电路;在衬底上形成第一氧化层;提供承载基底;在承载基底上形成压电换能器,压电换能器包括第一电极、位于第一电极上的压电层、以及位于压电层上的第二电极;在压电换能器上形成具有空腔的第二氧化层,空腔至少露出第二电极;通过第二氧化层和第一氧化层,采用熔融键合工艺实现承载基底和衬底的键合;去除承载基底。所述方法无需形成用于占据空腔位置的牺牲层,相应无需进行牺牲层释放的操作,以免出现在空腔中形成牺牲层残留物的问题,且通过熔融键合工艺使承载基底和衬底实现键合,提高了键合可靠性;综上,提高了指纹识别模组的指纹识别性能。

本发明授权指纹识别模组及其制造方法、电子设备在权利要求书中公布了:1.一种指纹识别模组的制造方法,其特征在于,包括:提供衬底,所述衬底中形成有信号处理电路;在所述衬底上形成第一氧化层;提供承载基底;在所述承载基底上形成压电换能器,所述压电换能器包括第一电极、位于所述第一电极上的压电层、以及位于所述压电层上的第二电极;在所述压电换能器上形成具有空腔的第二氧化层,所述空腔至少露出所述第二电极;通过所述第二氧化层和所述第一氧化层,采用熔融键合工艺实现所述承载基底和所述衬底的键合;去除所述承载基底;在形成所述压电换能器的步骤中,所述压电层还覆盖所述第一电极的侧壁;在形成所述第二氧化层之前,还包括:在所述压电层中形成第三导电孔;在进行键合的步骤中,使所述第三导电孔和所述信号处理电路的相应连接端相对应;或者,在形成所述压电换能器的步骤中,形成覆盖所述承载基底的整层导电层,部分区域的所述导电层作为第一电极;在去除所述承载基底后,还包括:图形化所述导电层,得到所述第一电极,所述第一电极暴露部分的所述压电层。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人中芯集成电路(宁波)有限公司上海分公司,其通讯地址为:201203 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区蔡伦路85弄95号1幢3楼C区309;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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