恭喜朗姆研究公司丹尼尔·亚瑟·布朗获国家专利权
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龙图腾网恭喜朗姆研究公司申请的专利移动衬底传送室获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111742400B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980013736.3，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权移动衬底传送室是由丹尼尔·亚瑟·布朗;伦纳德·约翰·沙普利斯;艾伦·肯特·龙尼;克里斯多夫·威廉·布克哈特设计研发完成，并于2019-02-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本移动衬底传送室在说明书摘要公布了：一种衬底处理工具包括：多个处理模块，其被配置为处理半导体衬底。所述多个处理模块中的每一个被布置在所述衬底处理工具内的不同位置处。真空传送模块VTM包括机械手，并且被配置为在与衬底处理工具内的所述不同位置相对应的多个不同位置之间移动，以使得所述机械手能访问所述多个处理模块中的相应的处理模块。
本发明授权移动衬底传送室在权利要求书中公布了：1.一种衬底处理工具，其包括：多个处理模块，其被配置为处理半导体衬底，其中，所述多个处理模块中的每一个被布置在所述衬底处理工具内的不同位置处；和包括机械手的真空传送模块VTM，其中所述VTM是限定内部容积的腔室，机械手布置在所述VTM的所述内部容积中，并且VTM被配置为在所述内部容积内保持真空，其中，所述VTM被配置为在与衬底处理工具内的所述不同位置相对应的多个不同位置之间移动，以使得所述机械手能访问所述多个处理模块中的相应的处理模块；以及其中，所述VTM被配置为相对于所述多个处理模块在竖直方向上升高和降低。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人朗姆研究公司，其通讯地址为：美国加利福尼亚州；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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