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龙图腾网恭喜安徽万维克林精密装备有限公司申请的专利一种晶圆夹持搬运装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119480777B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510051604.7，技术领域涉及：H01L21/687；该发明授权一种晶圆夹持搬运装置是由周尤;姚华东;班恒生;刘柏宏;祝龙飞;李江设计研发完成，并于2025-01-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆夹持搬运装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆夹持搬运装置，涉及晶圆夹持搬运的技术领域；而本发明包括连接盘，连接盘顶部设有夹持机构，连接盘顶部设有三组调节机构，本发明通过设置调节机构，使本申请的夹持件在夹持完成后，复位的途中进行旋转，使夹持件每次夹持晶圆时，接触面都会发生改变，避免夹持件夹持晶圆的接触面始终不发生改变，能够大大降低夹持件的磨损程度，降低维护成本，保证夹持的稳定性，提高夹持件的夹持效果；通过设置挤压机构，使本申请的夹持件能够在受到挤压的时候，夹持件的夹角能够发生改变，能够应对不同厚度的晶圆，从而能够根据晶圆的厚度调节夹持件的夹角，进一步提高夹持效果。

本发明授权一种晶圆夹持搬运装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆夹持搬运装置，包括连接盘（1），其特征在于：所述连接盘（1）顶部设有夹持机构（3），所述连接盘（1）顶部设有三组调节机构（2）；所述调节机构（2）包括齿轮（200）、齿条（209）、导向槽（210）和导向块（211），在对晶圆夹持的时候，夹持机构（3）带动支撑套筒（300）移动，此时导向块（211）沿着导向槽（210）带动夹持件（6）移动并最终夹持晶圆，在活动板（204）、第一伸缩杆（205）和第一弹簧（206）的配合下使得第一转轴（202）能够进行升降，从而导向块（211）能够进行上下移动，能够带动齿轮（200）上下移动，从而夹持件（6）夹持晶圆和复位的路线是不同的，从而在夹持件（6）复位的时候，齿轮（200）会与齿条（209）接触，从而齿轮（200）转动带动第一转轴（202）和第二转轴（207）转动，第二转轴（207）带动夹持件（6）转动30度，在棘轮（500）和棘爪（502）的配合下能够对第二转轴（207）进行限位，保证夹持件（6）的稳定性，使夹持件（6）与晶圆的接触面发生改变。

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