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龙图腾网恭喜晟盈半导体设备(江苏)有限公司申请的专利晶圆密封环检测装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119309493B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411848233.7，技术领域涉及：G01B11/00；该发明授权晶圆密封环检测装置是由程郡;徐传勇;孙文杰设计研发完成，并于2024-12-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆密封环检测装置在说明书摘要公布了：本发明公开了晶圆密封环检测装置，其包括光路单元和图像处理单元，光路单元包括呈环形阵列分布的多个光路发射部件、以环形阵列中心为基准且对齐设置的光路反射部件；图像处理单元包括与光路反射部件中心对齐且位于光路反射部件下方的视觉相机、图像处理器。本发明一方面在保持密封环处于动态中逐段获取密封环的轮廓信息，并基于各段轮廓信息拼凑获取完整的密封环轮廓图像，有效降低外部因素的干扰，成像质量高，同时在多段图像的拼凑中能够同时进行图像的对比检验，提高检测精度；另一方面通过光路发射部件与光路反射部件的配合，能够在狭窄空间内实现更广的成像范围，便于集成于任意晶圆加工设备中，实现密封环快速检测，有利于提升生产效率。

本发明授权晶圆密封环检测装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆密封环检测装置，其包括光路单元和图像处理单元，其特征在于，光路单元包括呈环形阵列分布的多个光路发射部件、以环形阵列中心为基准且对齐设置的光路反射部件，其中多个光路发射部件所发射的光束形成光束检测区；图像处理单元包括与光路反射部件中心对齐且位于光路反射部件下方的视觉相机、图像处理器；密封环的中心线与环形阵列中心线平行地装载于晶圆挂具上，检测装置还包括驱动晶圆挂具沿着环形阵列径向运动的移载器，密封环逐段经过光束检测区，光路反射部件逐段获取密封环反射的轮廓信息，视觉相机将轮廓信息转换成图像信息并汇总至图像处理器以拼凑成整个密封环轮廓，且基于密封环轮廓图像检测密封环的圆心位置；光束检测区能够覆盖整个密封环，且随着晶圆挂具的运动，密封环能够保持部分或者整体处于光束检测区内；将密封环的运动过程划分为第一阶段、第二阶段以及第三阶段，其中处于第一阶段时，密封环的一部分处于光束检测区内并保持自身中心线逐渐靠近环形阵列中心线；处于第二阶段时，密封环整体处于光束检测区内；处于第三阶段时，密封环的另一部分处于光束检测区内并保持自身中心线逐渐远离环形阵列中心线，图像处理器在第一阶段和第三阶段中逐段获取图像并拼凑得到第一整体轮廓图像、在第二阶段中获取图像并得到第二整体轮廓图像，并基于第一整体轮廓图像和第二整体轮廓图像的对比以检测密封环的圆心位置。

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