无锡琨圣芯成科技有限公司李鹏获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡琨圣芯成科技有限公司申请的专利一种晶圆插片翻转装置及晶圆清洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222838802U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421483528.4，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种晶圆插片翻转装置及晶圆清洗装置是由李鹏;王佳伟;曹刚设计研发完成，并于2024-06-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆插片翻转装置及晶圆清洗装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆插片翻转装置及晶圆清洗装置，其中，晶圆插片翻转装置包括基座、翻转组件、承载组件以升降驱动件，翻转组件包括翻转驱动件和旋转支座，翻转驱动件安装在基座上，并与旋转支座连接，翻转驱动件能够带动旋转支座转动；承载组件包括支撑件，支撑件与升降驱动件连接，且支撑件具有多个第一容纳槽，第一容纳槽用于容纳晶圆，升降驱动件具有带动支撑件远离旋转支座的顶升状态，以及带动支撑件靠近旋转支座的复位状态。通过该插片翻转装置，晶圆无需在设备之间进行转移，即可完成晶圆的插片动作、翻转动作以及顶升动作，提高了晶圆的清洗效率，且该晶圆插片装置集成度高，减少了多个独立设备所需的占用空间。
本实用新型一种晶圆插片翻转装置及晶圆清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆插片翻转装置，其特征在于，包括：基座1；翻转组件，包括翻转驱动件21和旋转支座22，所述翻转驱动件21安装在所述基座1上，并与所述旋转支座22连接，所述翻转驱动件21能够带动所述旋转支座22转动；升降驱动件3，安装在所述旋转支座22上；承载组件，包括支撑件41，所述支撑件41与所述升降驱动件3连接，且所述支撑件41具有多个第一容纳槽，所述第一容纳槽用于容纳晶圆6；所述升降驱动件3具有带动支撑件41远离所述旋转支座22的顶升状态，以及带动所述支撑件41靠近所述旋转支座22的复位状态。
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