深圳烯格微电子有限公司张云海获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳烯格微电子有限公司申请的专利一种晶圆减薄后下片的防护装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222832117U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421466055.7，技术领域涉及：B28D7/00；该实用新型一种晶圆减薄后下片的防护装置是由张云海设计研发完成，并于2024-06-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆减薄后下片的防护装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆减薄后下片的防护装置，涉及半导体芯片处理技术领域，该晶圆减薄后下片的防护装置，包括限位环，所述限位环的内部滑动连接有四个呈圆周等距排列的移动板，移动板的一端固定连接有弧形的防护板，限位环的内部转动连接有四个呈圆周等距排列的第一齿轮，移动板的一侧固定连接有齿条，齿条的表面与第一齿轮的表面啮合连接，限位环的内部设置有第一内齿环，第一内齿环的表面与四个第一齿轮的表面啮合连接。该晶圆减薄后下片的防护装置，装置在使用时，工作人员可以通过转动操作螺杆，驱动有的防护板同步移动，使装置能够对不同尺寸的载台进行包裹，进而使装置能够对不同尺寸的晶圆进行防护，提高了装置的作业范围。
本实用新型一种晶圆减薄后下片的防护装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆减薄后下片的防护装置，包括限位环1，其特征在于：所述限位环1的内部滑动连接有四个呈圆周等距排列的移动板3，移动板3贯穿限位环1的表面，移动板3的一端固定连接有弧形的防护板2，限位环1的内部转动连接有四个呈圆周等距排列的第一齿轮8，移动板3的一侧固定连接有齿条7，齿条7的表面同样与限位环1的内部滑动连接，齿条7的表面与第一齿轮8的表面啮合连接，限位环1的内部设置有第一内齿环9，第一内齿环9的表面与四个第一齿轮8的表面啮合连接。
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