青岛华芯晶电科技有限公司姜健获国家专利权
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龙图腾网获悉青岛华芯晶电科技有限公司申请的专利一种InP晶体生长炉加热腔体的冷却装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222834434U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-06发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421459439.6,技术领域涉及:C30B25/00;该实用新型一种InP晶体生长炉加热腔体的冷却装置是由姜健;贾松松;王鑫;张秀芳;吕可慧设计研发完成,并于2024-06-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种InP晶体生长炉加热腔体的冷却装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及InP晶体生长技术领域,且公开了一种InP晶体生长炉加热腔体的冷却装置,包括工作台和冷却桶,还包括:设置在冷却桶内部的限位板,所述限位板的一侧固定连接有吸盘,且吸盘的一侧与冷却桶的内壁卡接;设置在工作台顶部方便对冷凝效果进行调节的调节机构,所述调节机构包括连通于所述冷却桶一侧的第一输送管,本实用新型通过设置调节机构可便于对冷凝效果进行调节,避免加热腔体内温度不够稳定时,不能及时的调节冷凝效果,使InP材料在过热的环境下熔化,影响晶体生长的质量的情况,同时当一套冷却装置失效时,有及时的冷凝效果对热量进行散发,避免加热腔体内的压力升高,进而影响设备的结构安全性的问题。
本实用新型一种InP晶体生长炉加热腔体的冷却装置在权利要求书中公布了:1.一种InP晶体生长炉加热腔体的冷却装置,包括工作台1和冷却桶2,其特征在于,还包括:设置在冷却桶2内部的限位板16,所述限位板16的一侧固定连接有吸盘17,且吸盘17的一侧与冷却桶2的内壁卡接;设置在工作台1顶部方便对冷凝效果进行调节的调节机构3,所述调节机构3包括连通于所述冷却桶2一侧的第一输送管31,所述冷却桶2的一侧连通有第二输送管32,所述第一输送管31的外侧连通有多组第一冷凝板33,所述第一输送管31的外侧设置有第一调节阀34,所述第二输送管32的外侧设置有第二调节阀35,所述第二输送管32的外侧连通有多组第二冷凝板36。
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