苏州铼铂机电科技有限公司李奕获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州铼铂机电科技有限公司申请的专利一种可加热真空载物台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222838831U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421445409.X，技术领域涉及：H01L21/683；该实用新型一种可加热真空载物台是由李奕;谢华伟设计研发完成，并于2024-06-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种可加热真空载物台在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种可加热真空载物台，包括载物台、防护挡板、加热片、压板、间隔板和载物台安装基板；所述载物台连接在所述载物台安装基板上，所述载物台的上表面设置有环形分布的凹槽和真空气路孔，所述载物台通过所述凹槽和真空气路孔实现真空吸附；所述载物台下方设置有加热片，所述压板将所述加热片与所述载物台压紧固定；所述压板下方设置有间隔板，间隔板安装在所述载物台安装基板顶面的凹槽内；所述防护板安装于所述载物台安装基板的最外侧。本实用新型的载物台兼具真空吸附与盘面加热功能，真空吸附牢固，盘面加热均匀，温度数据采集精准，同时兼具一定的防护功能。
本实用新型一种可加热真空载物台在权利要求书中公布了：1.一种可加热真空载物台，其特征在于，包括载物台（101）、防护挡板（102）、加热片（103）、压板（104）、间隔板（105）和载物台安装基板（106）；所述载物台（101）连接在所述载物台安装基板（106）上，所述载物台（101）的上表面设置有环形分布的凹槽（1101）和真空气路孔（1102），所述载物台通过所述凹槽（1101）和真空气路孔（1102）实现真空吸附；所述载物台（101）下方设置有加热片（103），所述压板（104）将所述加热片（103）与所述载物台（101）压紧固定；所述压板（104）下方设置有间隔板（105），所述间隔板（105）安装在所述载物台安装基板（106）顶面的凹槽内；所述防护挡板（102）安装于所述载物台安装基板（106）的最外侧。
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