青岛华芯晶电科技有限公司贾松松获国家专利权
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龙图腾网获悉青岛华芯晶电科技有限公司申请的专利一种氧化镓晶体的生长装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222834431U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-06发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421370778.7,技术领域涉及:C30B11/00;该实用新型一种氧化镓晶体的生长装置是由贾松松;赵俊竹;张强;李亚平设计研发完成,并于2024-06-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种氧化镓晶体的生长装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及氧化镓技术领域,且公开了一种氧化镓晶体的生长装置,包括加工炉,还包括:设置于加工炉内腔的铜座。当高频电磁场通过坩埚时,会在坩埚内产生强磁场,由于磁场的存在,坩埚内的熔体受到磁压缩效应的作用,被推离坩埚壁形成悬浮状态,这样的悬浮状态可以防止坩埚与熔体之间的直接接触,避免了坩埚对晶体的污染,通过打开水泵将储水壳内的冷却液体通过输水管输送至水冷铜管内,然后通过水冷壳与氧化镓壳层贴合,通过冷却水进行强制冷却,使得熔体与坩埚壁之间形成一层薄的凝固壳,然而冷却液体则会从另一侧的排水管排至储水壳内,然后通过制冷装置使冷凝管对循环的液体进行二次冷却,减少资源浪费。
本实用新型一种氧化镓晶体的生长装置在权利要求书中公布了:1.一种氧化镓晶体的生长装置,包括加工炉1,其特征在于,还包括:设置于加工炉1内腔的铜座2,所述铜座2的顶部设置有氧化镓壳层3,所述铜座2的顶部设置有水冷壳4,所述水冷壳4和氧化镓壳层3之间设置有高频感应线圈6;设置于铜座2顶部的加热装置体7,所述加热装置体7的内腔设置有加热管71,所述水冷壳4的内腔设置有水冷铜管8,所述水冷壳4底部的一侧设置有排水管81,所述水冷壳4底部的另一侧设置有输水管82,所述加工炉1的底部固定连接有底座9,所述铜座2的顶部设置有挡板5。
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