广东先导微电子科技有限公司郑金龙获国家专利权
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龙图腾网获悉广东先导微电子科技有限公司申请的专利一种单片清洗治具获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222838800U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421369691.8，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种单片清洗治具是由郑金龙;王滔;周铁军;马金峰设计研发完成，并于2024-06-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种单片清洗治具在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体衬底材料制造技术领域，具体公开一种单片清洗治具，包括同轴且相对设置的两个通水盘，两个通水盘相向的表面均开设有导水腔，每个所述通水盘上开设有与导水腔连通的进水孔，两个所述通水盘之间设有第一喷水盘和第二喷水盘，所述第一喷水盘和第二喷水盘相向的表面分别设有相对应的限位柱，所述限位柱使得第一喷水盘和第二喷水盘之间形成用于放置衬底片的清洗槽位，所述第一喷水盘和第二喷水盘上均设有喷水孔，所述喷水孔的喷水方向与所述第一喷水盘或第二喷水盘的轴线呈一倾角，所述第一喷水盘和第二喷水盘上的喷水孔的喷水方向相同，以在清洗槽位内形成用于冲洗衬底片的旋流。本实用新型具有清洗效率高、清洗更洁净的优点。
本实用新型一种单片清洗治具在权利要求书中公布了：1.一种单片清洗治具，其特征在于，包括同轴且相对设置的两个通水盘，两个所述通水盘相向的表面均开设有导水腔，每个所述通水盘上开设有与所述导水腔连通的进水孔，两个所述通水盘之间设有第一喷水盘和第二喷水盘，所述第一喷水盘和第二喷水盘相向的表面分别设有相对应的限位柱，所述限位柱使得所述第一喷水盘和第二喷水盘之间形成用于放置衬底片的清洗槽位，所述第一喷水盘和第二喷水盘上均设有呈环形阵列排布的喷水孔，所述喷水孔的喷水方向与所述第一喷水盘或第二喷水盘的轴线呈一倾角，所述第一喷水盘和第二喷水盘上的喷水孔的喷水方向相同，以在所述清洗槽位内形成用于冲洗衬底片的旋流。
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