费勉仪器科技(上海)有限公司王艳会获国家专利权
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龙图腾网获悉费勉仪器科技(上海)有限公司申请的专利射频等离子装置及真空系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222839866U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421344677.2，技术领域涉及：H05H1/30；该实用新型射频等离子装置及真空系统是由王艳会;谢斌平;全志清设计研发完成，并于2024-06-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本射频等离子装置及真空系统在说明书摘要公布了：本公开提供了一种射频等离子装置及真空系统，射频等离子装置包括：电磁场发生器，用于在通电后产生电磁场；以及等离子发生腔，与电磁场发生器耦合，用于容纳工作气体以及工作气体在电磁场作用下产生的等离子。
本实用新型射频等离子装置及真空系统在权利要求书中公布了：1.一种射频等离子装置，其特征在于，包括：电磁场发生器，用于在通电后产生电磁场；以及等离子发生腔，与所述电磁场发生器耦合，用于容纳工作气体以及所述工作气体在所述电磁场作用下产生的等离子。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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