深圳市矩阵多元科技有限公司肖荣锋获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市矩阵多元科技有限公司申请的专利水电端头及磁控溅射设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222834389U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421222200.7，技术领域涉及：C23C14/56；该实用新型水电端头及磁控溅射设备是由肖荣锋;朱新华;杨洪生;张晓军设计研发完成，并于2024-05-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本水电端头及磁控溅射设备在说明书摘要公布了：本申请提出了一种水电端头及磁控溅射设备，水电端头包括第一连接件和第二连接件，第一连接件用于与导线电连接，第一连接件设有第一通道，第一通道用于连通冷却管道；第二连接件设有沿水平方向延伸的第二通道，第二连接件与第一连接件连接，第二通道与第一通道连通；第二连接件配置为安装在真空腔内与准直器连接，第二通道配置为环绕准直器分布。磁控溅射设备包括设备主体、准直器、绝缘结构和上述水电端头，设备主体设有真空腔，准直器位于真空腔内，绝缘结构与设备主体抵接，水电端头与绝缘结构抵接。本申请的水电端头简化了供电和冷却结构，便于准直器的拆装维护，磁控溅射设备能够缩短维护时间，提高工作效率。
本实用新型水电端头及磁控溅射设备在权利要求书中公布了：1.一种水电端头，其特征在于，包括：第一连接件，用于与导线电连接，所述第一连接件设有第一通道，所述第一通道用于连通冷却管道；第二连接件，设有沿水平方向延伸的第二通道，所述第二连接件与所述第一连接件连接，所述第二通道与所述第一通道连通；其中，所述第二连接件配置为安装在真空腔内与准直器连接，以向所述第二连接件供电，所述第二通道配置为环绕所述准直器分布，以冷却所述准直器。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳市矩阵多元科技有限公司，其通讯地址为：518131 广东省深圳市龙华区民治街道上芬社区龙屋工业区6号厂房101一、二楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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