恭喜广东长信精密设备有限公司赵果获国家专利权
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龙图腾网恭喜广东长信精密设备有限公司申请的专利一种晶块研磨机的研磨装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222831532U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-06发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202420733387.0,技术领域涉及:B24B37/00;该实用新型一种晶块研磨机的研磨装置是由赵果;吴伟平;邹展设计研发完成,并于2024-04-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶块研磨机的研磨装置在说明书摘要公布了:本申请公开了一种晶块研磨机的研磨装置,涉及半导体研磨技术领域,包括位移模组以及研磨模组;位移模组与研磨模组连接,用于带动研磨模组移动;研磨模组包括研磨驱动器以及研磨头;研磨驱动器的输出轴与研磨头连接,用于带动研磨头转动,以对晶块进行研磨;研磨驱动器沿自身输出轴的轴向方向弹性浮动设置,或研磨头沿研磨驱动器的输出轴的轴向方向弹性浮动设置。将研磨模组的研磨驱动器或研磨头进行弹性浮动设计,能够利用弹性浮动设计来提供晶块稳定可靠的压力,从而提升研磨效果。
本实用新型一种晶块研磨机的研磨装置在权利要求书中公布了:1.一种晶块研磨机的研磨装置,其特征在于,包括位移模组2以及研磨模组1;所述位移模组2与所述研磨模组1连接,用于带动所述研磨模组1移动;所述研磨模组1包括研磨驱动器230以及研磨头234;所述研磨驱动器230的输出轴与所述研磨头234连接,用于带动所述研磨头234转动,以对晶块313进行研磨;所述研磨驱动器230沿自身输出轴的轴向方向弹性浮动设置,或所述研磨头234沿所述研磨驱动器230的输出轴的轴向方向弹性浮动设置。
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