恭喜上海至纯洁净系统科技股份有限公司;至微半导体(上海)有限公司杨鑫获国家专利权
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龙图腾网恭喜上海至纯洁净系统科技股份有限公司;至微半导体(上海)有限公司申请的专利一种易于晶圆定位的传送机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222838819U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420669576.6，技术领域涉及：H01L21/677；该实用新型一种易于晶圆定位的传送机构是由杨鑫;陈蕖;徐铭;屠国强设计研发完成，并于2024-04-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种易于晶圆定位的传送机构在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种易于晶圆定位的传送机构，属于晶圆传输技术领域；包括支撑框架；至少一个晶圆叉片，固定在支撑框架上，晶圆叉片上设有，第一限位部，远离支撑框架设置；第二限位部，远离支撑框架设置，第一限位部与第二限位部在晶圆叉片上形成晶圆片定位侧；拖齿部，固定在支撑框架上，拖齿部包括，拖齿底板，位于支撑框架内；晶圆托齿，位于拖齿底板的两端，朝向晶圆片定位侧设置。上述技术方案的有益效果是：由于采用以上技术方案，避免传输过程中出现晶圆错位的问题，防止晶片破损，提高了生产效率。
本实用新型一种易于晶圆定位的传送机构在权利要求书中公布了：1.一种易于晶圆定位的传送机构，其特征在于，包括，支撑框架1；至少一个晶圆叉片2，固定在所述支撑框架1上，所述晶圆叉片2上设有，第一限位部21，远离所述支撑框架1设置；第二限位部22，远离所述支撑框架1设置，所述第一限位部21与所述第二限位部22在所述晶圆叉片2上形成晶圆片定位侧；拖齿部3，固定在所述支撑框架1上，所述拖齿部3包括，拖齿底板31，位于所述支撑框架1内；晶圆托齿32，位于所述拖齿底板31的两端，朝向所述晶圆片定位侧设置。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海至纯洁净系统科技股份有限公司;至微半导体(上海)有限公司，其通讯地址为：200241 上海市闵行区紫海路170号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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