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恭喜至微半导体(上海)有限公司;上海至纯洁净系统科技股份有限公司倪传涛获国家专利权

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龙图腾网恭喜至微半导体(上海)有限公司;上海至纯洁净系统科技股份有限公司申请的专利一种水平运输的槽体运输装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222833599U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-06发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202420656527.9,技术领域涉及:B65G47/82;该实用新型一种水平运输的槽体运输装置是由倪传涛;刘大威;吴凌峰设计研发完成,并于2024-04-01向国家知识产权局提交的专利申请。

一种水平运输的槽体运输装置在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种水平运输的槽体运输装置,涉及半导体设备技术领域,包括:滚轮运输机构,滚轮运输机构将放置在上方的槽体从零点位运输到顶点位;止动机构,设置于滚轮运输机构的顶点位;侧推机构,设置于滚轮运输机构的一侧;对射传感器,与侧推机构电连接,设置于滚轮运输机构的顶点位的两侧,并且位于止动机构与滚轮运输机构的零点位之间;槽体被运输至滚轮运输机构的顶点位并与止动机构抵接时阻挡对射传感器的光线,侧推机构将槽体沿垂直于槽体的运输方向推动至与滚轮运输机构的另一侧抵接,使槽体定位。有益效果是保证槽体在滚轮运输机构能够保持不倾斜,有利于后续晶圆传送机构取放晶圆的动作,减少晶圆破损的可能性。

本实用新型一种水平运输的槽体运输装置在权利要求书中公布了:1.一种水平运输的槽体运输装置,其特征在于,包括:滚轮运输机构,所述滚轮运输机构将放置在上方的槽体从零点位运输到顶点位;止动机构,设置于所述滚轮运输机构的顶点位;侧推机构,设置于所述滚轮运输机构的一侧;对射传感器,与所述侧推机构电连接,设置于所述滚轮运输机构的顶点位的两侧,并且位于所述止动机构与所述滚轮运输机构的零点位之间;所述槽体被运输至所述滚轮运输机构的顶点位并与所述止动机构抵接时阻挡所述对射传感器的光线,所述侧推机构将所述槽体沿垂直于所述槽体的运输方向推动至与所述滚轮运输机构的另一侧抵接,使所述槽体定位。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人至微半导体(上海)有限公司;上海至纯洁净系统科技股份有限公司,其通讯地址为:200241 上海市闵行区紫海路170号1幢3层03室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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