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龙图腾网恭喜浙江中科尚弘离子装备工程有限公司申请的专利一种用于离子注入基座的定位机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222838785U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420652117.7，技术领域涉及：H01J37/20；该实用新型一种用于离子注入基座的定位机构是由彭强祥;刘仁杰;刘青隆设计研发完成，并于2024-04-01向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于离子注入基座的定位机构在说明书摘要公布了：本实用新型提出一种用于离子注入基座的定位机构，其包括横向承载组件、竖向支托组件、低位支承组件、高位支承组件、转接支垫组件及开合驱动组件，该定位机构通过多层支托和承载设计，采用横向承载组件、竖向支托组件、低位支承组件和高位支承组件等，确保了整个机构的稳定性，可以有效地防止在离子注入过程中由于设备振动或其他外部因素导致的设备移位或损坏，允许工艺腔体组件、靶盘支撑组件和靶盘盖合组件等关键部件进行方便的安装和拆卸，使得设备在更换工艺腔体或进行维护时非常方便，在需要扩展设备功能或进行维护时，只需要针对特定的模块进行操作，而不需要对整个设备进行大规模的改动，降低了设备的维护成本和扩展难度。

本实用新型一种用于离子注入基座的定位机构在权利要求书中公布了：1.一种用于离子注入基座的定位机构，其特征在于，包括：横向承载组件，该横向承载组件通过连接件装配于安装台面上，其内部具有承载空间；竖向支托组件，该竖向支托组件安装于横向承载组件上，其内部具有支托空间，由横向承载组件对竖向支托组件进行承载；低位支承组件，该低位支承组件安装于竖向支托组件上，其内部具有支承空间，由竖向支托组件对低位支承组件进行支托；高位支承组件，该高位支承组件安装于竖向支托组件上，并与低位支承组件位置对应，其高度大于低位支承组件的高度，其内部具有可安装工艺腔体组件的支承空间，由竖向支托组件对高位支承组件进行支托；转接支垫组件，该转接支垫组件安装于低位支承组件上，其内部具有安装靶盘支撑组件的装配空间，由低位支承组件对转接支垫组件进行支承；开合驱动组件，该开合驱动组件安装于低位支承组件上，其内部具有安装靶盘盖合组件的装配空间，由低位支承组件对开合驱动组件进行支承，并由开合驱动组件对靶盘盖合组件进行开合操作。

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