恭喜甬矽半导体(宁波)有限公司何正鸿获国家专利权
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龙图腾网恭喜甬矽半导体(宁波)有限公司申请的专利定位治具和半导体反应设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222838823U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-06发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202420650801.1,技术领域涉及:H01L21/68;该实用新型定位治具和半导体反应设备是由何正鸿;钟磊;李利;陈泽;夏锦枫设计研发完成,并于2024-04-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本定位治具和半导体反应设备在说明书摘要公布了:本实用新型提供的一种定位治具和半导体反应设备,涉及半导体设备技术领域。该定位治具包括定位基板和基座,定位基板上设有定位块,定位基板贯穿设有第一安装孔。基座上设有用于与定位块插接配合的定位孔。基座上还设有与第一安装孔同轴的第二安装孔;第一安装孔和第二安装孔用于供管道穿过;第二安装孔用于与反应腔连通。该定位治具能对管道起到良好的限位,确保管道的安装精度,防止管道摩擦破裂。
本实用新型定位治具和半导体反应设备在权利要求书中公布了:1.一种定位治具,其特征在于,包括:定位基板,所述定位基板上凸设有定位块,所述定位基板贯穿设有第一安装孔;基座,所述基座上设有用于与所述定位块插接配合的定位孔,所述基座上还设有与所述第一安装孔同轴的第二安装孔,所述第二安装孔用于与反应腔连通;所述第一安装孔和所述第二安装孔分别用于供管道穿过。
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