恭喜山东大学罗毅获国家专利权
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龙图腾网恭喜山东大学申请的专利布里奇曼法晶体生长的温度控制方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117966250B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-06发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202410303454.X,技术领域涉及:C30B11/00;该发明授权布里奇曼法晶体生长的温度控制方法是由罗毅;陈菲菲;赵显设计研发完成,并于2024-03-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本布里奇曼法晶体生长的温度控制方法在说明书摘要公布了:本发明涉及晶体制备技术领域,具体公开了布里奇曼法晶体生长的温度控制方法,包括:将所述的加热管沿轴线方向划分为高温区和低温区;在所述的高温区和低温区中均匀设置温度采集点;将所述的加热模块均匀布置在所述的环形加热区中,并对所述的加热模块进行初始化调试;开启所有加热模块对所述的加热管进行加热,获取相同温区内各个组温度采集点的温度数据,并计算各个分组的平均温度值,当所述的平均温度值与设定温度值的偏差小于预设值时进入检测调整模式;检测调整模式:获取各组的温度采集点对应的温度数据,根据最大偏差值设定与该组温度采集点对应的加热模块的转速。本发明可以提高晶体结晶时的温度稳定性。
本发明授权布里奇曼法晶体生长的温度控制方法在权利要求书中公布了:1.布里奇曼法晶体生长的温度控制方法,包括高温炉、低温炉和加热模块,以及设置于高温炉和低温炉内侧的环形加热区,所述的环形加热区内设置有供石英舟通过的加热管,其特征在于,包括以下步骤:将所述的加热管沿轴线方向划分为高温区和低温区,所述的高温区和低温区分别与所述的高温炉和低温炉的环形加热区相对应;在所述的高温区和低温区中均匀设置温度采集点;并将处于同一竖直面的温度采集点设为同一组;将所述的加热模块均匀布置在所述的环形加热区中,并对所述的加热模块进行初始化调试;开启所有加热模块对所述的加热管进行加热,获取相同温区内各个组温度采集点的温度数据,并计算各个分组的平均温度值,当所述的平均温度值与设定温度值的偏差小于预设值时进入检测调整模式;检测调整模式:获取各组的温度采集点对应的温度数据,计算各组温度数据与设定温度值之间的最大偏差值Δt,根据最大偏差值设定与该组温度采集点对应的加热模块的转速,直至所述的最大偏差值Δt小于预设的调整值;将所述的加热模块环形布设在所述的环形加热区中,并将处于同一环的加热模块设为同一区,并设置驱动模块控制该区加热模块沿着加热管的轴心转动;根据所述的最大偏差值设定与该组温度采集点对应的加热模块的转速包括初速度设定和转速二次调整,其中初速度设定具体包括如下步骤:获取同区的加热模块对应的所有组温度采集点的温度数据;分别计算各组的最大偏差值Δt,并筛选出最大值MAX(Δt);并在MAX(Δt)>t'时,计算该区的驱动模块驱动所述的加热模块的转速为V*(MAX(Δt)-t')t,其中t表示设定温度,V表示预设的最大转速,t'表示预设的调整值;在设定初始转速后,进行转速二次调整,其具体步骤如下所示;继续获取该区加热模块的最大值MAX(Δt),当所述的最大值MAX(Δt)大于预设的调整值时,增加转速,直至所述的最大值MAX(Δt)小于等于预设的调整值。
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