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龙图腾网恭喜扬州韩思半导体科技有限公司申请的专利一种精确控温半导体晶圆退火炉获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117448968B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311421128.0，技术领域涉及：C30B33/02；该发明授权一种精确控温半导体晶圆退火炉是由杨志勇;单庆喜;王恒设计研发完成，并于2023-10-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种精确控温半导体晶圆退火炉在说明书摘要公布了：本申请公开了一种精确控温半导体晶圆退火炉，包括炉体以及与炉体铰接的炉门，所述炉体内安装有石英腔室、加热单元、晶圆载台和供气单元，所述炉门处安装有温度检测装置。本申请的退火炉，具有高温计，高温计可以在晶圆退火过程中检测炉体内部的温度，每个加热灯能够单独调节，从而可以对内部加热温度均匀性实现更好的控制，温度检测装置采用热电偶的方式测温，温度检测更加准确，既可以校准加热灯，对加热灯进行调节，也可以用于校准高温计，温度检测装置具有两种工作状态，第一状态可以作为辅助温控，第二状态为通过多个温度传感器有效的监测整个退火过程的温度，从而更好地在需要的情况下实现对加热灯功率的调节。

本发明授权一种精确控温半导体晶圆退火炉在权利要求书中公布了：1.一种精确控温半导体晶圆退火炉，其特征在于，包括炉体以及与炉体铰接的炉门，所述炉体内安装有石英腔室、加热单元、晶圆载台和供气单元，所述炉门处安装有温度检测装置；所述加热单元为加热灯盘；所述晶圆载台下方还安装有多个高温计；所述加热灯盘具有多个加热灯，每个加热灯均能够独立控制功率；所述温度检测装置包括第一活动单元、第二活动单元、安装于炉门处的两个滑轨以及安装于炉门处的两个限位块；所述第一活动单元包括条形滑块以及与条形滑块铰接的转动座，所述条形滑块处具有两个与所述滑轨配合的第一滑槽，所述条形滑块的两端均固定有凸板，所述凸板处具有将条形滑块和炉门的相对位置锁死的第一锁死螺栓，所述条形滑块的底端固定有限位插板，所述转动座处具有圆形安装槽，所述圆形安装槽内安装有圆形的安装座，所述安装座处具有多个温度传感器，所述转动座远离条形滑块的端部具有第一定位孔，所述转动座远离安装座的表面具有第二定位孔；所述第二活动单元包括滑动板，所述滑动板处具有两个能够被限位插板插入的限位插孔，每个限位插孔处具有一个能够被限位插板插入的限位插套，所述滑动板处具有与所述滑轨配合的第二滑槽，所述第二滑槽处具有与滑动板固定连接且被滑轨穿过的滑套，所述滑套处具有将滑套和滑轨位置锁死的第二锁死螺栓，所述滑动板处固定有能够插入第一定位孔的定位单元；所述滑动板能够抵接所述限位块的底端；所述温度检测装置能够处于第一状态和第二状态，所述第一状态中，所述转动座与炉门平行，所述定位单元插入第一定位孔，转动座远离条形滑块的端部抵接所述滑动板，所述第一锁死螺栓和第二锁死螺栓均锁死；所述第二状态中，所述滑动板抵接两个限位块的底端，两个限位插板分别插入两个限位插套，所述条形滑块抵接所述滑动板，所述转动座与所述炉门垂直，所述定位单元插入所述第二定位孔，所述第一锁死螺栓和第二锁死螺栓均锁死。

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